คุณกำลังมองหาอะไรอยู่
?
HY-EL25H เป็นระบบบำบัดด้วยพลาสมาในห้องปฏิบัติการที่สถาบันวิจัย แผนกวิจัยและพัฒนาของบริษัท และสายการผลิตนำร่องขนาดเล็กนิยมใช้กันอย่างแพร่หลาย ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีการปล่อยประจุ CCP (Capacitively Coupled Plasma) ระบบทั้งหมดประกอบด้วยห้องสุญญากาศสแตนเลสทรงสี่เหลี่ยม เครื่องกำเนิดพลาสมา ปั๊มสุญญากาศ และช่องรับและปล่อยก๊าซ
อุปกรณ์นี้ช่วยเพิ่มการยึดเกาะของพื้นผิววัสดุและปรับปรุงคุณสมบัติการดูดซับน้ำของพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีแอปพลิเคชันที่หลากหลายในการเชื่อมวัสดุ การเคลือบ การตกตะกอนฟิล์มบนพื้นผิว และการเชื่อมแผ่นเวเฟอร์ อุปกรณ์นี้ให้การบำบัดด้วยพลาสมาที่เสถียรและทำซ้ำได้สำหรับโครงการวิจัยด้านเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครฟลูอิดิก และวัสดุใหม่
ยี่ห้อ :
HYRNUSหมายเลขสินค้า :
HY-EL25Hสั่งซื้อขั้นต่ำ (MOQ) :
1 Setการรับประกัน :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenanceการชำระเงิน :
T/Tระยะเวลานำส่ง :
7-35 Daysแหล่งที่มาของผลิตภัณฑ์ :
Chinaเครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศสำหรับห้องปฏิบัติการ ขนาด 25 ลิตร พร้อมหน้าจอสัมผัส PLC ขนาด 7 นิ้ว
แนะนำผลิตภัณฑ์
NE-PE25H เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสุญญากาศ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยของมหาวิทยาลัย ศูนย์วิจัยและพัฒนาขององค์กร และการผลิตในปริมาณน้อย เครื่องนี้มีห้องสุญญากาศสแตนเลสทรงสี่เหลี่ยมที่สร้างด้วยการเชื่อมระดับเดียวกับที่ใช้ในกองทัพ มีอิเล็กโทรดสองชั้นในตัว ช่องก๊าซอิสระสองช่อง และโครงสร้างเปิดด้านหน้าพร้อมระบบหมุนเวียนไอเสียด้านหลัง ทำให้เครื่องดูดก๊าซได้สม่ำเสมอและทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม หน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่ายรองรับการตรวจสอบพารามิเตอร์แบบเรียลไทม์ สามารถบันทึกสูตรกระบวนการได้หลายกลุ่มพร้อมการตรวจสอบย้อนกลับข้อมูลอย่างครบถ้วน และไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องผสมก๊าซเพิ่มเติมสำหรับการทดสอบอัตราส่วนก๊าซที่หลากหลาย
ระบบพลาสมานี้ช่วยเพิ่มการยึดเกาะและความชอบน้ำของพื้นผิวได้อย่างมาก ทำให้ได้ผลลัพธ์ที่เสถียรและทำซ้ำได้สำหรับกระบวนการหลัก ๆ รวมถึงการทำความสะอาดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์ การปรับเปลี่ยนความชอบน้ำ/ไม่ชอบน้ำของพื้นผิว การกัดเซาะขนาดเล็กอย่างแม่นยำ การเชื่อมชิปไมโครฟลูอิดิก PDMS และการกำจัดโฟโตเรซิสต์ มีการนำไปใช้อย่างกว้างขวางในการเชื่อมวัสดุ การเคลือบ การตกตะกอนฟิล์มบนพื้นผิว และโครงการวิจัยวัสดุใหม่ทางด้านเซมิคอนดักเตอร์ทุกประเภท
การใช้งานผลิตภัณฑ์
1. การทำความสะอาด: กำจัดสารตกค้างอินทรีย์ ออกไซด์ เกลือโลหะ และสารปนเปื้อนอนุภาคขนาดนาโน
2. การกระตุ้น: ปรับคุณสมบัติชอบน้ำ/ไม่ชอบน้ำ เพิ่มพลังงานพื้นผิว เชื่อมต่อหมู่ฟังก์ชัน และปรับปรุงความเข้ากันได้ทางชีวภาพ
3. การกัดผิว: การสร้างลวดลายบนพื้นผิว การกัดผิวขนาดเล็ก และการปรับแต่งรูปร่างและความหยาบของพื้นผิวอย่างควบคุมได้
4. การยึดติด: การยึดติดแบบสุญญากาศสำหรับชิป PDMS และชิปไมโครฟลูอิดิกอื่นๆ
5. การลอกโฟโตเรซิสต์: การเผาโฟโตเรซิสต์และการกำจัดสารเคลือบป้องกันแสงสะท้อนด้านล่าง
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
1. ห้องสุญญากาศที่ทำจากสแตนเลส ผ่านกระบวนการเชื่อมระดับมาตรฐานทางการทหาร มีประสิทธิภาพการปิดผนึกที่เหนือกว่าและทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม
2. มีอิเล็กโทรดสองชั้นและถาดประมวลผลหลายชั้นในตัว ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พื้นที่ให้ดียิ่งขึ้น
3. หน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่าย แสดงค่าพารามิเตอร์กระบวนการแบบเรียลไทม์
4. รองรับการจัดเก็บสูตรการผลิตหลายรายการเพื่อเรียกใช้งานได้ด้วยการคลิกเพียงครั้งเดียว พร้อมข้อมูลการดำเนินงานที่ตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างครบถ้วน
5. มาพร้อมช่องจ่ายก๊าซอิสระคู่ ไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องผสมก๊าซเพิ่มเติม สะดวกสำหรับการทดสอบสูตรอัตราส่วนก๊าซต่างๆ
6. การออกแบบประตูเปิดด้านหน้าและช่องระบายอากาศด้านหลังช่วยสร้างการไหลเวียนของก๊าซภายในแบบไดนามิก การรับอากาศที่สม่ำเสมอช่วยให้ได้ผลลัพธ์การทำความสะอาดที่คงที่
ภาพร่างโครงร่างเครื่องจักรและแผนภาพห้องสุญญากาศ
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| เลขที่ | หมวดหมู่ | รายการข้อมูลจำเพาะ | พารามิเตอร์ |
| 1 | เครื่องกำเนิดพลาสมา | พลัง | 0–1000 วัตต์ ปรับได้ต่อเนื่อง |
| ความถี่ | 40 กิโลเฮิร์ตซ์ | ||
| 2 | ห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ | วัสดุห้อง | ผลิตจากสแตนเลสขัดเงาเกรด 316 นำเข้า พร้อมการซีลระดับมาตรฐานทางการทหาร |
| ปริมาตรห้อง | 380(กว้าง)×390(ลึก)×170(สูง) มม.; 25 ลิตร | ||
| พื้นที่ประมวลผลที่มีประสิทธิภาพ | 333(กว้าง) × 320(ลึก) มม. | ||
| 3 | ขั้วไฟฟ้าปล่อยประจุ | อิเล็กโทรด | อิเล็กโทรดโลหะผสมอะลูมิเนียมที่มีค่าการนำไฟฟ้าสูงพิเศษ 3 ชิ้น |
| ชั้นการประมวลผล | 2 ชั้น | ||
| โหมดการคายประจุ | CCP (capacitive coupled plasma reaction discharge) | ||
| ระยะห่างระหว่างขั้วบวกและขั้วลบ | 50 มม. | ||
| การเคลียร์ถาด | 30 มม. | ||
| 4 | การควบคุมเส้นทางก๊าซ | ตัวควบคุมการไหลของมวล | 300 SCCM |
| การออกแบบวงจรแก๊ส | การออกแบบช่องรับอากาศแบบสม่ำเสมอสองด้านเพื่อผลลัพธ์การทำความสะอาดและการกัดผิวที่สม่ำเสมอ | ||
| ช่องก๊าซ | ท่อส่งแก๊ส 2 ท่อ ใช้ได้กับ O₂อาร์, เอ็น₂, ชม₂เป็นต้น | ||
| (โปรดแจ้งล่วงหน้าหากต้องการใช้ก๊าซกัดกร่อน) | |||
| 5 | การวัดสุญญากาศ | ระบบวัดสุญญากาศ | ช่วงการวัด: 5×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa |
| ความแม่นยำในการวัด: 0.1 Pa | |||
| 6 | ระบบสูบน้ำ | ปั๊มสุญญากาศ | 16 ลบ.ม./ชม. |
| ท่อสุญญากาศ | ท่อสแตนเลส + วาล์วลม | ||
| 7 | ระบบควบคุม | โหมดควบคุม | พีแอลซี |
| หน้าจอสัมผัส | แผงสัมผัสขนาด 7 นิ้ว | ||
| โปรแกรมซอฟต์แวร์ | ระบบควบคุมพลาสมาที่พัฒนาขึ้นเองและจดสิทธิบัตรแล้ว | ||
| 8 | สภาพแวดล้อมของพื้นที่ | แหล่งจ่ายไฟ | 220V, 50/60Hz, 13A |
| ตัวเชื่อมต่อท่อก๊าซ | Φ6 มม. | ||
| ความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ต้องการ | 99.99% | ||
| แรงดันแก๊สขาเข้า | 0.3–0.6 MPa | ||
| ช่องระบายไอเสีย | หน้าแปลน KF25 | ||
| 9 | ข้อมูลจำเพาะโดยรวมของเครื่องจักร | ขนาดโดยรวม | 650 มม.(ยาว) × 649 มม.(กว้าง) × 666 มม.(สูง) |
| น้ำหนักสุทธิ | 80 กก. | ||
| ปริมาณการใช้พลังงานทั้งหมด | 3 กิโลวัตต์ |
สภาพแวดล้อมการทำงาน (สิ่งของที่ลูกค้าต้องเตรียม)
| เลขที่ | รายการ | ความต้องการ |
| 1 | แหล่งจ่ายไฟและสภาวะของโครงข่ายไฟฟ้า | แรงดันไฟฟ้าขาเข้า: 220V, 50/60Hz; ความผันผวนของแรงดันไฟฟ้าที่ยอมรับได้ ±10% สายดินป้องกันต้องเป็นไปตามมาตรฐานสากล ห้ามมีแหล่งกำเนิดคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่รุนแรงในบริเวณใกล้เคียงพื้นที่ติดตั้งอุปกรณ์ |
| 2 | สภาพแวดล้อมในการติดตั้ง | อุณหภูมิแวดล้อม: 0–40°C; ความชื้นสัมพัทธ์: 15%–60% |
| 3 | การเตรียมแหล่งก๊าซ | ถังแก๊สออกซิเจน อาร์กอน ไนโตรเจน ไฮโดรเจน ฯลฯ (ต้องติดตั้งวาล์วลดแรงดัน) แรงดันแก๊สขาเข้า > 0.3 MPa; เส้นผ่านศูนย์กลางข้อต่อแก๊ส: Φ6 มม. |
| 4 | ท่อระบายอากาศ | เชื่อมต่อเข้ากับช่องระบายอากาศของปั๊มสุญญากาศ (จำเป็นสำหรับงานในห้องปลอดเชื้อ) |
รายละเอียดสินค้า
HY-AD03 เป็นบรรยากาศโดยตรง เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมา ออกแบบมาเพื่อทำความสะอาด กระตุ้น และปรับเปลี่ยนพื้นผิวภายใต้สภาวะอากาศปกติ มีคุณสมบัติเด่นคือ พลังงานเข้มข้นในพื้นที่การทำงานขนาดเล็ก ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะ ความชอบน้ำ และความสามารถในการพิมพ์ของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อน เช่น คราบอินทรีย์ คราบน้ำมัน และชั้นออกไซด์ออกจากพื้นผิววัสดุได้อีกด้วย
HY-TM500 ทำงานภายใต้ความดันบรรยากาศโดยไม่ต้องใช้ห้องสุญญากาศ ราง 3 แกนแบบกำหนดเองให้การบำบัดที่แม่นยำและครอบคลุมทั่วถึง สร้างขึ้นด้วยฮาร์ดแวร์ระดับทางการทหารและการควบคุมแบบดิจิทัล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้ 0–800 วัตต์ พลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้าช่วยปกป้อง PCB, FPC และชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ พร้อมทั้งทำความสะอาดพื้นผิว กระตุ้น และปรับเปลี่ยนเพื่อเพิ่มการยึดเกาะสำหรับการเชื่อมต่อ การพิมพ์ และการเคลือบ พร้อมสำหรับการใช้งานอัตโนมัติแบบอินไลน์ในอุตสาหกรรม 3C, จอแสดงผล, เซมิคอนดักเตอร์, ยานยนต์ และพลังงานใหม่
HY-DC1000 มาพร้อมกับปืนหมุนพ่นพลาสมาที่มีพื้นที่การพ่นกว้างและหัวฉีดแบบถอดเปลี่ยนได้ตั้งแต่ 20 ถึง 80 มม. ออกแบบมาสำหรับชิ้นงานแบนขนาดใหญ่ เช่น แผงวงจรพิมพ์ขนาดเต็ม ขั้วไฟฟ้าแบตเตอรี่พลังงานใหม่ ชิ้นส่วนพลาสติกสำหรับยานยนต์ และแผงกระจกจอแสดงผล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้กว้าง 0–1000 วัตต์ เพื่อสร้างการพ่นพลาสมาที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวขนาดใหญ่ ช่วยกำจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และขจัดปัญหาช่องว่างในการพิมพ์และการหลุดลอกของสารเคลือบสำหรับสายการผลิตแบบอินไลน์ในการผลิตจำนวนมาก
HY-DD600 ใช้การออกแบบหัวฉีดขนาดเล็กและแคบ (ความกว้างใช้งาน 2–6 มม.) เหมาะสำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็กที่มีความแม่นยำสูง เช่น ชิป วงจรพิมพ์แบบยืดหยุ่น (FPC) และแผ่นรองพื้น BGA ขนาดเล็ก เจ็ทพลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้า ช่วยลดความเสี่ยงจากการไหม้จากความร้อนสำหรับวัสดุ PI/ITO ที่บางเป็นพิเศษ ปืนขนาดกะทัดรัดนี้เหมาะสำหรับช่องว่างแคบและโครงสร้างขนาดเล็กที่ซับซ้อน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสายการผลิตการเชื่อมและการจ่ายอัตโนมัติขนาดเล็กสำหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และการเตรียมพื้นผิวโมดูลกล้อง
HY-AC500 ใช้ปืนพ่นพลาสมาแบบหมุนและโหมดควบคุมแบบแมนนวลและ I/O คู่ ทำให้สามารถทำความสะอาด กระตุ้น และกัดเซาะขนาดเล็กได้อย่างสม่ำเสมอสำหรับ PCB, FPC, BGA และชิปเซมิคอนดักเตอร์ มีฮาร์ดแวร์ระดับเดียวกับที่ใช้ในกองทัพ การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ดิจิทัล และการป้องกันความปลอดภัยหลายชั้น เครื่องพลาสมาแบบตั้งโต๊ะขนาด 1000 วัตต์นี้ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเตรียมพื้นผิวในอุตสาหกรรมบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C จอแสดงผล อิเล็กทรอนิกส์ยานยนต์ และอุตสาหกรรมพลังงานใหม่
HY-AC1000H ใช้พลาสมาแบบเป็นกลางอุณหภูมิต่ำโดยไม่ต้องใช้สุญญากาศ มาพร้อมรางที่ปรับแต่งได้และปืนหมุนคู่ มีกำลังไฟปรับได้ 0–1000 วัตต์ และความกว้างในการรักษา 20–80 มม. จึงสามารถทำความสะอาดชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหายจากความร้อนการทำความสะอาดแบบแห้งทั้งทางกายภาพและทางเคมีช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการยึดติดสำหรับการติดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป เพื่อลดการแยกชั้นและการเกิดช่องว่าง รองรับการควบคุมด้วยตนเองและผ่านอินพุต/เอาต์พุต พร้อมระบบตรวจสอบความปลอดภัยอย่างเต็มรูปแบบ สามารถเชื่อมต่อกับสายการผลิตอัตโนมัติเพื่อการประมวลผลอย่างต่อเนื่องของวัสดุตั้งต้น เฟรมตะกั่ว และแผง FPC ขนาดใหญ่ ให้การผลิตที่เสถียรต่อเนื่องเป็นเวลานานภายใต้ภาระงานเต็มที่ ด้วยเวลาตอบสนองต่ำกว่า 0.1 วินาที
HY-AS1200 ติดตั้งหัวฉีดหมุนที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์เพื่อสร้างพื้นผิวพลาสมาที่สม่ำเสมอ ด้วยความกว้างในการรักษา 20–80 มม. และกำลังไฟที่ปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 1200 วัตต์ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมพื้นผิวชิ้นงานขนาดใหญ่ เช่น เฟรมตะกั่วและพื้นผิวต่างๆ พลาสมาที่เป็นกลางที่อุณหภูมิห้องจะไม่ทำลายชิป ช่วยขจัดคราบอินทรีย์และออกไซด์บนพื้นผิวภายใต้ความดันบรรยากาศ เพื่อเสริมความแข็งแรงในการยึดเกาะสำหรับการติดชิ้นส่วน การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป ในขณะเดียวกันก็ลดปัญหาการหลุดลอกและการเกิดช่องว่างอุปกรณ์นี้มาพร้อมระบบป้องกันความปลอดภัยหลายชั้นและสามารถทำงานร่วมกับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างสมบูรณ์ จึงถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการบรรจุภัณฑ์และการทดสอบสำหรับ IC, FPC และชิปสำหรับยานยนต์
HY-AD800 สามารถประมวลผลชิป แผงวงจรพิมพ์ (PCB) และชิ้นส่วนพลาสติกที่บอบบางได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดการเสียรูปจากความร้อน มาพร้อมกำลังไฟปรับได้ 0–800 วัตต์ การทำงานแบบคู่ทั้งผ่านอินพุต/เอาต์พุต และระบบป้องกันความปลอดภัยที่ครบครัน สามารถบูรณาการเข้ากับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างง่ายดาย เพื่อการทำความสะอาดพื้นผิว การกระตุ้น และการยึดติดที่ดีขึ้น ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C ยานยนต์ พลังงานใหม่ และการผลิต LED
ฝากข้อความไว้
สแกนเพื่อแชร์ไปยัง WeChat :
สแกนเพื่อส่งไปยัง WhatsApp :
