คุณกำลังมองหาอะไรอยู่
?
เครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศระดับอุตสาหกรรมนี้ใช้พลังงาน RF 13.56MHz และระบบควบคุมแบบสัมผัส PLC มาพร้อมกับห้องปิดผนึกระดับมาตรฐานทางการทหาร โหมดพลาสมาคู่ และช่องจ่ายก๊าซปรับได้คู่ สามารถจัดเก็บสูตรการทำงานได้มากถึง 100 สูตร และให้การบำบัดพลาสมาที่สม่ำเสมอ
ยี่ห้อ :
HYRNUSหมายเลขสินค้า :
HY-EI160สั่งซื้อขั้นต่ำ (MOQ) :
1 Setการรับประกัน :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenanceการชำระเงิน :
T/Tระยะเวลานำส่ง :
7-35 Daysแหล่งที่มาของผลิตภัณฑ์ :
Chinaเครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศระดับอุตสาหกรรม ขนาด 165 ลิตร สำหรับการผลิตบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์จำนวนมาก
แนะนำผลิตภัณฑ์
HY-EI160 เครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศสำหรับการผลิตในระดับอุตสาหกรรม เป็นอุปกรณ์ทำความสะอาดแบบแห้งที่มีความแม่นยำสูง เชี่ยวชาญในการประมวลผลวงจรรวมแบบไฮบริด แพ็คเกจ IC แบบโมโนลิธิก และพื้นผิวเซรามิก ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ บรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ เวเฟอร์หลังการกัดเซาะ ตัวเชื่อมต่อ และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง
ผลิตภัณฑ์นี้ขจัดคราบไขมัน คราบอินทรีย์ และออกไซด์ของโลหะได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยกระตุ้นการทำงานของพื้นผิวพลาสติก ยาง โลหะ และเซรามิกได้อย่างน่าเชื่อถือ
การใช้งานผลิตภัณฑ์
1. การทำความสะอาด: กำจัดสารอินทรีย์ ออกไซด์ เกลือโลหะ สารปนเปื้อนอนุภาคขนาดนาโน และสิ่งสกปรกอื่นๆ
2. การกระตุ้นพื้นผิว: ปรับเปลี่ยนคุณสมบัติชอบน้ำและไม่ชอบน้ำ เพิ่มพลังงานพื้นผิว เพิ่มหมู่ฟังก์ชัน และปรับปรุงความเข้ากันได้ทางชีวภาพ
3. การกัดผิว: การสร้างลวดลายบนพื้นผิว การกัดผิวขนาดเล็ก และการปรับแต่งรูปร่างและความหยาบของพื้นผิว
4. การยึดติด: การยึดติดสำหรับอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก เช่น ชิป PDMS
5. การลอกฟิล์ม: การเผาโฟโตเรซิสต์ การกำจัดฟิล์มด้านล่าง และกระบวนการลอกฟิล์มแบบแห้งอื่นๆ
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
1. เครื่องกำเนิดพลาสมา RF ความหนาแน่นสูง 13.56 MHz พร้อมระบบจับคู่ความต้านทานอัตโนมัติ ความหนาแน่นของพลาสมาคงที่ ให้ผลลัพธ์การประมวลผลที่ทำซ้ำได้และเสถียร
2. ระบบควบคุม PLC แบบหน้าจอสัมผัส พร้อมระบบล็อคเพื่อความปลอดภัยครบถ้วน ควบคุมได้อย่างเสถียร และใช้งานง่าย
3. ห้องสุญญากาศเชื่อมแบบมาตรฐานทางการทหาร ที่มีการปิดผนึกที่ดีเยี่ยมและทนทานต่อการกัดกร่อน
4. ความจุในการจัดเก็บสูตรการผลิตได้ 100 กลุ่ม พร้อมระบบเรียกค้นพารามิเตอร์อย่างรวดเร็วเพื่อลดข้อผิดพลาดจากการทำงานของมนุษย์
5. โหมดการทำงานคู่ (พลาสมาโดยตรงและพลาสมาแบบไหลผ่าน) พร้อมระยะการทำงานที่ปรับได้เพื่อให้เหมาะกับชิ้นงานที่หลากหลาย
6. การออกแบบอิเล็กโทรดแบบแผ่นขนานเจาะรูเพื่อการกระจายตัวของพลาสมาอย่างสม่ำเสมอ
7. ช่องจ่ายก๊าซอิสระสองช่องพร้อมระบบควบคุมการไหลที่แม่นยำ ช่วยให้ทดสอบอัตราส่วนก๊าซต่างๆ เพื่อประสิทธิภาพการทำความสะอาดที่ดีที่สุด
ภาพร่างโครงร่างเครื่องจักรและแผนภาพห้องสุญญากาศ
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| หมวดหมู่ | รายการ | พารามิเตอร์ |
| 1. ตัวเครื่องกำเนิดพลาสมา | กำลังขับของโซลิดสเตท | กำลังไฟปรับได้ 0–1000 วัตต์ พร้อมแสดงผล เอาต์พุตคลื่นไซน์มาตรฐาน ความเสถียร ≤ ±0.5% พร้อมระบบป้องกันแรงดันไฟเกิน กระแสไฟเกิน อุณหภูมิเกิน และกำลังไฟฟ้าสะท้อนกลับ |
| ตัวปรับความต้านทาน RF ป้องกันรังสี | จับคู่โดยอัตโนมัติด้วยความเร็วสูงภายใน 0.1 วินาที รองรับการสื่อสารผ่านเครือข่าย | |
| ความถี่ RF | 13.56 เมกะเฮิร์ตซ์ | |
| 2. ห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ | วัสดุห้อง | โลหะผสมอลูมิเนียมเกรดการบิน พร้อมการซีลระดับทางการทหาร |
| ปริมาตรห้อง | 550×600×500 (กว้าง×ลึก×สูง) มม., 165 ลิตร | |
| พื้นที่ประมวลผลที่มีประสิทธิภาพชั้นเดียว | 510(กว้าง)×508(ลึก)×30(สูง) มม. | |
| 3. ขั้วไฟฟ้าปล่อยประจุ | วัสดุอิเล็กโทรด | อิเล็กโทรดโลหะผสมอะลูมิเนียมที่มีค่าการนำไฟฟ้าสูงพิเศษ |
| ชั้นที่สามารถประมวลผลได้ | 8 ชั้น (ปรับแต่งได้) | |
| ช่องว่างระหว่างแผ่นบวกและแผ่นลบ | 51 มม. | |
| 4. การควบคุมวงจรแก๊ส | ตัวควบคุมการไหลของมวล MFC | 0–500 SCCM |
| การออกแบบวงจรแก๊ส | การจัดวางช่องทางเข้าภายในห้องทำความสะอาดอย่างสม่ำเสมอ เพื่อให้มั่นใจได้ว่าประสิทธิภาพการทำความสะอาดจะสม่ำเสมอ | |
| ช่องก๊าซสำหรับกระบวนการผลิต | มีช่องจ่ายก๊าซอิสระ 2 ช่อง สามารถใช้งานร่วมกับออกซิเจน อาร์กอน ฯลฯ โปรดแจ้งล่วงหน้าหากต้องการใช้ก๊าซกัดกร่อน | |
| 5. ระบบวัดสุญญากาศ | ช่วงการวัด | 5×10⁻² ~ 1.0×10⁻⁵ ปา |
| ความแม่นยำในการวัด | 0.1ปาสคาล | |
| 6. ระบบปั๊มสุญญากาศ | ชุดปั๊มสุญญากาศ | ปั๊มโรตารี่ใบพัดน้ำมัน 60 m³/h + ปั๊มรูทส์ 300 m³/h |
| ระดับสุญญากาศในการทำงาน | ≤30Pa | |
| เวลาอพยพ | ภายใน 100 | |
| เวลาจากช่องระบายอากาศสู่บรรยากาศ | ≤30 วินาที | |
| ท่อสุญญากาศ | ท่อสแตนเลสพร้อมวาล์วลม | |
| 7. ระบบควบคุม | โหมดควบคุม | การควบคุม PLC |
| รายการตรวจสอบแบบเรียลไทม์ | ระดับสุญญากาศ, ความดันอากาศ, กำลังไฟฟ้าขาออก, อัตราการไหลของก๊าซ, เวลาทำงาน | |
| หน้าจอสัมผัส | แผงสัมผัส HMI ขนาด 10 นิ้ว | |
| โปรแกรมซอฟต์แวร์ | ระบบควบคุมพลาสมาที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเอง พร้อมสิทธิ์การเข้าถึง 3 ระดับ; โหมดอัตโนมัติ/แบบแมนนวล, การตั้งค่า/จัดเก็บ/เรียกคืนสูตร, การสอบถามประวัติการแจ้งเตือน, การตรวจสอบสัญญาณ IO | |
| ฟังก์ชั่นการแจ้งเตือน | ระบบป้องกันสุญญากาศ, ระบบป้องกันการปล่อยประจุเรืองแสง, ระบบป้องกันไฟเกิน, สัญญาณเตือนแรงดันอากาศ, สัญญาณเตือนลำดับเฟส | |
| ฟังก์ชันปรับสมดุลแรงดัน | การปรับสมดุลแรงดันก่อนทางเข้าก๊าซ สามารถปรับระยะเวลาการปรับสมดุลได้ | |
| 8. ความต้องการด้านสาธารณูปโภคของพื้นที่ก่อสร้าง | แหล่งจ่ายไฟ | ไฟฟ้ากระแสสลับเฟสเดียว 380V, 50/60Hz, 3 เฟส 5 สาย, 31A |
| ช่องต่อท่อก๊าซ | ท่อ PU ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 มม. | |
| ความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ต้องการ | ≥99.99% | |
| แรงดันอากาศอัด | 0.6–0.8 MPa | |
| การตรวจจับความดันอากาศ | เกจวัดแรงดันแบบ 2 ช่องสัญญาณพร้อมระบบเตือนภัยอัตโนมัติ | |
| ช่องระบายไอเสียมาตรฐาน | หน้าแปลน KF40 | |
| 9. พารามิเตอร์โดยรวมของเครื่องจักร | กำลังเครื่องจักรทั้งหมด | 11.5 กิโลวัตต์ |
| ขนาดโดยรวม | 1170 มม.(ยาว) × 1190 มม.(กว้าง) × 1825 มม.(สูง) |
สภาพแวดล้อมการทำงาน (สิ่งของที่ลูกค้าต้องเตรียม)
| เลขที่ | รายการ | ความต้องการ |
| 1 | แหล่งจ่ายไฟ | ระบบไฟฟ้ากระแสสลับ 3 เฟส 380V, 50/60Hz, ทนต่อความผันผวนของแรงดันไฟฟ้าได้ ±10%; สายดินเป็นไปตามมาตรฐานสากล; ไม่มีสัญญาณรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้ารุนแรงรอบบริเวณติดตั้ง |
| 2 | การเตรียมแหล่งก๊าซ | ถังแก๊สสำหรับ O₂อาร์, เอ็น₂, ชม₂ (พร้อมวาล์วลดแรงดัน); เส้นผ่านศูนย์กลางข้อต่อท่อ: Φ6 มม. |
| 3 | ช่วงความดันก๊าซ | 0.30MPa~1.00MPa (3Kgf~10Kgf) |
| • หากแรงดันเกิน 1 MPa จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์ลดแรงดันภายนอก | ||
| • เครื่องจะหยุดทำงานและส่งสัญญาณเตือนโดยอัตโนมัติเมื่อไม่มีการจ่ายก๊าซหรือแรงดันก๊าซไม่เพียงพอ <0.03 เมกะปาสคาล (0.3 กิโลกรัมแรง) | ||
| 4 | ท่อไอเสีย | เชื่อมต่อเข้ากับช่องระบายอากาศของปั๊มสุญญากาศ (จำเป็นสำหรับการใช้งานในห้องปลอดเชื้อ) |
รายละเอียดสินค้า
HY-AD03 เป็นบรรยากาศโดยตรง เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมา ออกแบบมาเพื่อทำความสะอาด กระตุ้น และปรับเปลี่ยนพื้นผิวภายใต้สภาวะอากาศปกติ มีคุณสมบัติเด่นคือ พลังงานเข้มข้นในพื้นที่การทำงานขนาดเล็ก ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะ ความชอบน้ำ และความสามารถในการพิมพ์ของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อน เช่น คราบอินทรีย์ คราบน้ำมัน และชั้นออกไซด์ออกจากพื้นผิววัสดุได้อีกด้วย
HY-TM500 ทำงานภายใต้ความดันบรรยากาศโดยไม่ต้องใช้ห้องสุญญากาศ ราง 3 แกนแบบกำหนดเองให้การบำบัดที่แม่นยำและครอบคลุมทั่วถึง สร้างขึ้นด้วยฮาร์ดแวร์ระดับทางการทหารและการควบคุมแบบดิจิทัล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้ 0–800 วัตต์ พลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้าช่วยปกป้อง PCB, FPC และชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ พร้อมทั้งทำความสะอาดพื้นผิว กระตุ้น และปรับเปลี่ยนเพื่อเพิ่มการยึดเกาะสำหรับการเชื่อมต่อ การพิมพ์ และการเคลือบ พร้อมสำหรับการใช้งานอัตโนมัติแบบอินไลน์ในอุตสาหกรรม 3C, จอแสดงผล, เซมิคอนดักเตอร์, ยานยนต์ และพลังงานใหม่
HY-DC1000 มาพร้อมกับปืนหมุนพ่นพลาสมาที่มีพื้นที่การพ่นกว้างและหัวฉีดแบบถอดเปลี่ยนได้ตั้งแต่ 20 ถึง 80 มม. ออกแบบมาสำหรับชิ้นงานแบนขนาดใหญ่ เช่น แผงวงจรพิมพ์ขนาดเต็ม ขั้วไฟฟ้าแบตเตอรี่พลังงานใหม่ ชิ้นส่วนพลาสติกสำหรับยานยนต์ และแผงกระจกจอแสดงผล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้กว้าง 0–1000 วัตต์ เพื่อสร้างการพ่นพลาสมาที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวขนาดใหญ่ ช่วยกำจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และขจัดปัญหาช่องว่างในการพิมพ์และการหลุดลอกของสารเคลือบสำหรับสายการผลิตแบบอินไลน์ในการผลิตจำนวนมาก
HY-DD600 ใช้การออกแบบหัวฉีดขนาดเล็กและแคบ (ความกว้างใช้งาน 2–6 มม.) เหมาะสำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็กที่มีความแม่นยำสูง เช่น ชิป วงจรพิมพ์แบบยืดหยุ่น (FPC) และแผ่นรองพื้น BGA ขนาดเล็ก เจ็ทพลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้า ช่วยลดความเสี่ยงจากการไหม้จากความร้อนสำหรับวัสดุ PI/ITO ที่บางเป็นพิเศษ ปืนขนาดกะทัดรัดนี้เหมาะสำหรับช่องว่างแคบและโครงสร้างขนาดเล็กที่ซับซ้อน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสายการผลิตการเชื่อมและการจ่ายอัตโนมัติขนาดเล็กสำหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และการเตรียมพื้นผิวโมดูลกล้อง
HY-AC500 ใช้ปืนพ่นพลาสมาแบบหมุนและโหมดควบคุมแบบแมนนวลและ I/O คู่ ทำให้สามารถทำความสะอาด กระตุ้น และกัดเซาะขนาดเล็กได้อย่างสม่ำเสมอสำหรับ PCB, FPC, BGA และชิปเซมิคอนดักเตอร์ มีฮาร์ดแวร์ระดับเดียวกับที่ใช้ในกองทัพ การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ดิจิทัล และการป้องกันความปลอดภัยหลายชั้น เครื่องพลาสมาแบบตั้งโต๊ะขนาด 1000 วัตต์นี้ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเตรียมพื้นผิวในอุตสาหกรรมบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C จอแสดงผล อิเล็กทรอนิกส์ยานยนต์ และอุตสาหกรรมพลังงานใหม่
HY-AC1000H ใช้พลาสมาแบบเป็นกลางอุณหภูมิต่ำโดยไม่ต้องใช้สุญญากาศ มาพร้อมรางที่ปรับแต่งได้และปืนหมุนคู่ มีกำลังไฟปรับได้ 0–1000 วัตต์ และความกว้างในการรักษา 20–80 มม. จึงสามารถทำความสะอาดชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหายจากความร้อนการทำความสะอาดแบบแห้งทั้งทางกายภาพและทางเคมีช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการยึดติดสำหรับการติดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป เพื่อลดการแยกชั้นและการเกิดช่องว่าง รองรับการควบคุมด้วยตนเองและผ่านอินพุต/เอาต์พุต พร้อมระบบตรวจสอบความปลอดภัยอย่างเต็มรูปแบบ สามารถเชื่อมต่อกับสายการผลิตอัตโนมัติเพื่อการประมวลผลอย่างต่อเนื่องของวัสดุตั้งต้น เฟรมตะกั่ว และแผง FPC ขนาดใหญ่ ให้การผลิตที่เสถียรต่อเนื่องเป็นเวลานานภายใต้ภาระงานเต็มที่ ด้วยเวลาตอบสนองต่ำกว่า 0.1 วินาที
HY-AS1200 ติดตั้งหัวฉีดหมุนที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์เพื่อสร้างพื้นผิวพลาสมาที่สม่ำเสมอ ด้วยความกว้างในการรักษา 20–80 มม. และกำลังไฟที่ปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 1200 วัตต์ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมพื้นผิวชิ้นงานขนาดใหญ่ เช่น เฟรมตะกั่วและพื้นผิวต่างๆ พลาสมาที่เป็นกลางที่อุณหภูมิห้องจะไม่ทำลายชิป ช่วยขจัดคราบอินทรีย์และออกไซด์บนพื้นผิวภายใต้ความดันบรรยากาศ เพื่อเสริมความแข็งแรงในการยึดเกาะสำหรับการติดชิ้นส่วน การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป ในขณะเดียวกันก็ลดปัญหาการหลุดลอกและการเกิดช่องว่างอุปกรณ์นี้มาพร้อมระบบป้องกันความปลอดภัยหลายชั้นและสามารถทำงานร่วมกับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างสมบูรณ์ จึงถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการบรรจุภัณฑ์และการทดสอบสำหรับ IC, FPC และชิปสำหรับยานยนต์
HY-AD800 สามารถประมวลผลชิป แผงวงจรพิมพ์ (PCB) และชิ้นส่วนพลาสติกที่บอบบางได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดการเสียรูปจากความร้อน มาพร้อมกำลังไฟปรับได้ 0–800 วัตต์ การทำงานแบบคู่ทั้งผ่านอินพุต/เอาต์พุต และระบบป้องกันความปลอดภัยที่ครบครัน สามารถบูรณาการเข้ากับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างง่ายดาย เพื่อการทำความสะอาดพื้นผิว การกระตุ้น และการยึดติดที่ดีขึ้น ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C ยานยนต์ พลังงานใหม่ และการผลิต LED
ฝากข้อความไว้
สแกนเพื่อแชร์ไปยัง WeChat :
สแกนเพื่อส่งไปยัง WhatsApp :
