เครื่องขัดเงา

เครื่อง HY-WT9730 รองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดสูงสุด 12 นิ้ว มาพร้อมกับแกนหมุนสำหรับเจียรแบบใช้ลม 3 แกน และแกนหมุนสำหรับชิ้นงานแบบใช้ลม 4 แกน จึงสามารถรวมกระบวนการเจียรหยาบ เจียรละเอียด และขัดเงาเข้าไว้ด้วยกันได้ ระบบการทำงานแบบหุ่นยนต์เต็มรูปแบบจะดำเนินการถ่ายโอน การประมวลผล การทำความสะอาด และการขนถ่ายเวเฟอร์โดยอัตโนมัติ เหลือเพียงแค่การป้อนตลับเวเฟอร์ด้วยมือเท่านั้น การป้อนตามแกน Z ที่แม่นยำเป็นพิเศษช่วยให้เวเฟอร์มีความเรียบลื่นและขัดเงาได้อย่างสมบูรณ์แบบโดยไม่เกิดความเสียหาย ในขณะที่โครงสร้างที่แข็งแรงช่วยรับประกันการผลิตจำนวนมากที่เสถียร

HY-SP855 เครื่องขัดทองแดงด้านเดียว เครื่องนี้ใช้สำหรับการขัดและขัดเงาวัสดุแข็งเปราะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างแม่นยำ ใช้ระบบควบคุมแบบสัมผัส PLC และระบบปรับสภาพแผ่นขัดในตัว มีระบบขับเคลื่อนความถี่แปรผัน ระบบควบคุมแรงดันแบบวงปิด และระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ ความเรียบของแผ่นขัดที่ปรับสภาพแล้วอยู่ที่ 0.01 มม. ให้ผลลัพธ์การประมวลผลที่เสถียรและสม่ำเสมอสำหรับการผลิตวัสดุพื้นฐานที่มีความแม่นยำสูงในปริมาณมาก

เครื่อง HY-SP910 มาพร้อมระบบควบคุม PLC และหน้าจอสัมผัส ช่วยให้ตั้งค่าได้ง่าย ใช้งานง่าย และให้ประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียร สามารถทำการขัดเงาด้านเดียวที่มีความแม่นยำสูงบนชิ้นส่วนบางๆ รองรับวัสดุพื้นฐานสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ (แซฟไฟร์, SiC, ซิลิคอน และเวเฟอร์แบบเอพิแทกเซียล) รวมถึงเวเฟอร์แก้วออปติคอล คริสตัลควอตซ์ เวเฟอร์เซรามิก ชิ้นงานสแตนเลส และตัวเชื่อมต่อไฟเบอร์ออปติก