เครื่องเชื่อมไดแบบยูเทคติกความแม่นยำสูงพร้อมโต๊ะทำงานคู่ เหมาะสำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว

แนะนำผลิตภัณฑ์

HY-GD4000 เป็นอุปกรณ์อเนกประสงค์ กาวเชื่อมแม่พิมพ์ยูเทคติก เครื่องเชื่อมชิปแบบยูเทคติกนี้ มาพร้อมกับโต๊ะทำงานคู่ รองรับทั้งกระบวนการเชื่อมแบบยูเทคติกและการเชื่อมด้วยกาวสำหรับบรรจุภัณฑ์ชิป มีหัวเชื่อมคู่และแท่นยูเทคติกคู่ ทำให้เครื่องเชื่อมยูเทคติกนี้มีกำลังการผลิตสูงขึ้นอย่างมาก มาพร้อมระบบเปลี่ยนหัวฉีดอัตโนมัติที่สามารถจัดเก็บหัวฉีดได้มากถึง 12 แบบ ขณะที่แกน ZR อิสระช่วยให้การวางตำแหน่งชิ้นส่วนมีความแม่นยำสูงและแรงดันการเชื่อมแบบยูเทคติกสม่ำเสมอ เครื่องเชื่อมยูเทคติกนี้รองรับการทำความร้อนด้วยอุณหภูมิแบบโปรแกรมได้หลายส่วน เพื่อรองรับโลหะผสมยูเทคติกหลากหลายชนิด และทำงานร่วมกับเวิร์กโฟลว์ยูเทคติกหลายชิปได้อย่างราบรื่น ระบบการจดจำภาพแบบโปรแกรมได้อย่างสมบูรณ์ ช่วยให้การวางตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูงและการตรวจสอบคุณภาพหลังการเชื่อมเป็นไปโดยอัตโนมัติ ตลอดกระบวนการผลิตบรรจุภัณฑ์ยูเทคติก

รายการส่วนประกอบ

หลักการทำงานของอุปกรณ์

คำอธิบายกระบวนการขนย้ายวัสดุ

1. พื้นที่สำหรับบรรจุวัสดุ: สามารถใช้ได้กับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว และแพ็ควาฟเฟิลขนาด 2 นิ้ว และ 4 นิ้ว

2. พื้นที่วัสดุรอง: สามารถกำหนดค่าเป็นสถานีป้อนหรือรับวัสดุ (โดยไม่มีรางสำหรับโหลด/ขนถ่าย) อุปกรณ์ยึดรองรับบรรจุภัณฑ์แบบแผ่นบางขนาด 2 นิ้ว, 4 นิ้ว หรือเทปสีน้ำเงินขนาด 6 นิ้ว

3. สถานีด้านซ้ายของแท่นยูเทคติก: อุปกรณ์จัดการวัสดุจะหยิบเศษวัสดุและวางลงบนแท่นด้านข้างของแท่นยูเทคติกเพื่อทำการเชื่อมยูเทคติกต่อไป หรือดึงผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปจากแท่นยูเทคติกเพื่อรวบรวม

4. สถานีด้านขวาของแท่นยูเทคติก: ตัวจัดการยูเทคติกจะเคลื่อนย้ายชิ้นส่วนจากแท่นวางกลางไปยังแท่นยูเทคติกเพื่อกระบวนการเชื่อมต่อ

5. รางสำหรับโหลดและขนถ่าย (ฟังก์ชันเสริม): ช่วยให้สามารถโหลดและขนถ่ายตัวยึดคลิปสปริง เช่น อุปกรณ์ยึดโครงปลา ได้โดยอัตโนมัติ

 

ผังกระบวนการ

1. กระบวนการยูเทคติก

ขั้นตอน	คำอธิบาย
1	วางเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว (รองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วได้พร้อมกัน 4 ชิ้น) หรือแพ็ควาฟเฟิลลงในพื้นที่สำหรับโหลด และวางแพ็ควาฟเฟิลสำหรับวัสดุรีไซเคิลลงในพื้นที่สำหรับขนถ่าย (ส่วนโหลด/ขนถ่ายแพ็ควาฟเฟิลสามารถบรรจุแพ็ควาฟเฟิลขนาด 2 นิ้วได้ทั้งหมด 8 ชิ้น)
2	หลังจากกล้องของหุ่นยนต์ขนถ่ายวัสดุตรวจจับวัสดุที่เข้ามาแล้ว หุ่นยนต์จะหยิบวัสดุโดยการเปลี่ยนหัวฉีดที่เหมาะสมโดยอัตโนมัติ
3	สถานีด้านซ้ายของแท่นผสมยูเทคติก: หลังจากหยิบวัสดุแล้ว หุ่นยนต์ขนถ่ายวัสดุจะเคลื่อนที่และวางวัสดุลงบนแท่นลำเลียงที่อยู่ข้างแท่นผสมยูเทคติก
4	แท่นวางวัสดุแบบยูเทคติกเคลื่อนไปยังสถานีด้านขวา (เครื่องจักรนี้ติดตั้งแท่นวางวัสดุแบบยูเทคติกและสถานีถ่ายโอนสองชุด ดังนั้นในขณะนี้หัวเชื่อมจึงทำการหยิบและวางวัสดุชุดต่อไป)
5	กล้องของหุ่นยนต์ยูเทคติกจะระบุวัสดุบนแท่นลำเลียง หยิบวัสดุเหล่านั้น และวางลงบนแท่นยูเทคติกเพื่อทำการเชื่อมประสานยูเทคติกที่อุณหภูมิสูง
6	หลังจากกระบวนการเชื่อมประสานยูเทคติกเสร็จสมบูรณ์แล้ว แท่นยูเทคติกจะกลับไปยังตำแหน่งด้านซ้าย และหุ่นยนต์ขนถ่ายวัสดุจะทำการขนถ่ายผลิตภัณฑ์ที่เสร็จแล้ว
7	ทำซ้ำขั้นตอนข้างต้นจนกว่าวัสดุในพื้นที่โหลดจะหมดหรืออุปกรณ์ยึดในพื้นที่ขนถ่ายจะเต็ม เครื่องจะปิดตัวเองโดยอัตโนมัติ และผู้ปฏิบัติงานจะเปลี่ยนแผ่นฟิล์มสีน้ำเงินและบรรจุภัณฑ์แบบวาฟเฟิลด้วยตนเอง

 

2. กระบวนการยึดติดด้วยกาว

ขั้นตอน	คำอธิบาย
1	วางเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว (รองรับเวเฟอร์วงแหวนขนาด 6 นิ้วได้พร้อมกัน 4 ชิ้น) หรือแพ็ควาฟเฟิลลงในพื้นที่สำหรับโหลด และโหลดอุปกรณ์ที่จะทำการยึดติดลงในพื้นที่สำหรับขนถ่าย
2	หลังจากกล้องของหุ่นยนต์ขนถ่ายวัสดุตรวจจับวัสดุที่เข้ามาแล้ว หุ่นยนต์จะหยิบวัสดุโดยการเปลี่ยนหัวฉีดที่เหมาะสมโดยอัตโนมัติ
3	หุ่นยนต์ยูเทคติกจะระบุวัสดุในอุปกรณ์ยึดและติดตั้งชิป
4	ติดตั้งวัสดุทั้งหมดลงในอุปกรณ์จับยึดตามลำดับ เมื่อเสร็จสิ้น เครื่องจะหยุดทำงานและส่งสัญญาณเตือนเพื่อให้ผู้ปฏิบัติงานเปลี่ยนวัสดุกลับเข้าที่

 

ภาพรวมส่วนประกอบหลัก

 

เลขที่	ชื่อส่วนประกอบ	บทนำโดยสังเขป
1	โครงสร้างการบรรจุเวเฟอร์	รองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้วได้สูงสุดสี่แผ่นสำหรับวัสดุสี่ประเภทที่แตกต่างกัน; มาพร้อมแกน X และ Y อิสระสำหรับการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำ
2	ชุดประกอบหมุดดีดออก	ชุดหมุดดันฟิล์มคู่รองรับการเจาะฟิล์มขึ้นด้านบนและการดึงฟิล์มลงด้านล่าง เข้ากันได้กับชิปขนาดต่างๆ ประกอบด้วยแกน Z โดยรวมและแกน Z เฉพาะสำหรับหมุดดันฟิล์ม
3	ชุดประกอบหัวจับและหัวยึด	หัวเชื่อมสองหัว (ตัวจัดการวัสดุ + ตัวจัดการยูเทคติก) แต่ละหัวมีระบบขยายภาพคู่พร้อมกล้องเฉพาะแกน Z; ไลบรารีหัวฉีดอัตโนมัติ 12 ตำแหน่งพร้อมเพลาหัวฉีด ZR มอเตอร์แกน Z แบบเชิงเส้นพร้อมเซ็นเซอร์วัดแรงดันช่วยให้สามารถควบคุมแรงดันการเชื่อมแบบวงปิดได้อย่างสมบูรณ์
4	โมดูลการโหลดและขนถ่าย (แกน Y อิสระ)	สามารถกำหนดค่าให้เป็นสถานีป้อนหรือสถานีรับได้ รองรับการป้อนชิปบรรจุภัณฑ์แบบวาฟเฟิลและการรวบรวมผลิตภัณฑ์ยูเทคติกสำเร็จรูป
5	ชุดกล้องมองด้านบน	ประกอบด้วยกล้อง เลนส์ และแหล่งกำเนิดแสงแบบจุด ใช้สำหรับการปรับเทียบหัวฉีดและการตรวจสอบด้านหลังของชิปในระหว่างการวาง
6	แผ่นจ่ายสารและอุปกรณ์สอบเทียบ	บล็อกสอบเทียบใช้สำหรับทดสอบความแม่นยำในการหยิบและวางของหัวฉีด แผ่นจ่ายกาวจะจ่ายกาวพร้อมใบมีดปาดเพื่อควบคุมปริมาณกาวให้สม่ำเสมอ
7	แพลตฟอร์มการถ่ายโอนระดับกลาง	ติดตั้งในแต่ละขั้นตอนของยูเทคติก โดยมีตำแหน่งสุญญากาศอิสระ 8 ตำแหน่งสำหรับยึดชิปขนาดต่างๆ และกำหนดตำแหน่งล่วงหน้าผ่านระบบการมองเห็น
8	การประกอบขั้นยูเทคติก	แท่นยูเทคติกคู่พร้อมระบบทำความร้อนแบบพัลส์เซรามิก การไล่ก๊าซไนโตรเจนช่วยป้องกันการเกิดออกซิเดชันของชิปและวัสดุรองรับ มีระบบระบายความร้อนด้วยอากาศในตัวเพื่อการระบายความร้อนอย่างรวดเร็ว การควบคุมอุณหภูมิด้วยเทอร์โมคัปเปิลแบบวงปิดพร้อมการสุ่มตัวอย่าง 10 มิลลิวินาที เส้นโค้งอุณหภูมิแบบหลายส่วน ระดับที่ปรับได้ และระบบป้องกันความร้อนสูงเกิน