กระบวนการทำความสะอาดด้วยพลาสมาแบบกัดเซาะขนาดเล็ก

HY-EL25H เป็นระบบบำบัดด้วยพลาสมาในห้องปฏิบัติการที่สถาบันวิจัย แผนกวิจัยและพัฒนาของบริษัท และสายการผลิตนำร่องขนาดเล็กนิยมใช้กันอย่างแพร่หลาย ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีการปล่อยประจุ CCP (Capacitively Coupled Plasma) ระบบทั้งหมดประกอบด้วยห้องสุญญากาศสแตนเลสทรงสี่เหลี่ยม เครื่องกำเนิดพลาสมา ปั๊มสุญญากาศ และช่องรับและปล่อยก๊าซอุปกรณ์นี้ช่วยเพิ่มการยึดเกาะของพื้นผิววัสดุและปรับปรุงคุณสมบัติการดูดซับน้ำของพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีแอปพลิเคชันที่หลากหลายในการเชื่อมวัสดุ การเคลือบ การตกตะกอนฟิล์มบนพื้นผิว และการเชื่อมแผ่นเวเฟอร์ อุปกรณ์นี้ให้การบำบัดด้วยพลาสมาที่เสถียรและทำซ้ำได้สำหรับโครงการวิจัยด้านเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครฟลูอิดิก และวัสดุใหม่