คุณกำลังมองหาอะไรอยู่
?
HY-ES10 เป็นระบบการบำบัดด้วยพลาสมาเชิงทดลอง ซึ่งถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายโดยสถาบันวิจัย มหาวิทยาลัย ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาของบริษัท และสายการผลิตขนาดเล็ก ระบบนี้ใช้เทคโนโลยีการปล่อยประจุพลาสมาแบบ CCP (Capacitively Coupled Plasma) ระบบทั้งหมดประกอบด้วยห้องสุญญากาศ เครื่องกำเนิดพลาสมา ปั๊มสุญญากาศ และช่องรับและปล่อยก๊าซ ห้องบำบัดทำจากสแตนเลสทรงสี่เหลี่ยม
ยี่ห้อ :
HYRNUSหมายเลขสินค้า :
HY-ES10สั่งซื้อขั้นต่ำ (MOQ) :
1 Setการรับประกัน :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenanceการชำระเงิน :
T/Tระยะเวลานำส่ง :
7-35 Daysแหล่งที่มาของผลิตภัณฑ์ :
Chinaเครื่องทำความสะอาดพลาสมาสุญญากาศขนาดกะทัดรัด ปรับกำลังไฟได้ต่อเนื่อง 0–300 วัตต์ สำหรับงานวิจัยและพัฒนาในห้องปฏิบัติการ
แนะนำผลิตภัณฑ์
HY-ES10 คือ เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสุญญากาศขนาดกะทัดรัด ปรับกำลังไฟได้ต่อเนื่อง 0–300 วัตต์ ออกแบบมาสำหรับมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาของบริษัท และการสร้างต้นแบบในปริมาณน้อย โดยใช้เทคโนโลยีการสร้างพลาสมาแบบ CCP (Capacitively Coupled Plasma) ที่มีความเสถียรและเชื่อถือได้ ตัวเครื่องมีดีไซน์แบบรวมทุกอย่างไว้ในเครื่องเดียว ประกอบด้วยห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ เครื่องกำเนิดพลาสมา หน่วยปั๊มสุญญากาศ วงจรแก๊สความแม่นยำสูงแบบหลายช่องสัญญาณ และระบบควบคุม PLC อัจฉริยะ
ด้วยเทคโนโลยีพลาสมาอุณหภูมิต่ำ เครื่องจักรนี้สามารถดำเนินการต่างๆ ได้มากมาย เช่น การทำความสะอาดพื้นผิว การกระตุ้น การกัดเซาะขนาดเล็ก การเชื่อมแผ่นเวเฟอร์ และการกำจัดสารไวแสง ช่วยเพิ่มการยึดเกาะของพื้นผิววัสดุอย่างมีนัยสำคัญ และปรับเปลี่ยนคุณสมบัติการดูดซับน้ำหรือความไม่ชอบน้ำ จึงทำหน้าที่เป็นอุปกรณ์เตรียมพื้นผิวอเนกประสงค์สำหรับการเชื่อมวัสดุ การเคลือบ และกระบวนการสร้างฟิล์มบนพื้นผิว
การใช้งานผลิตภัณฑ์
1. การทำความสะอาด: การกำจัดสารอินทรีย์ ออกไซด์ เกลือโลหะ สารปนเปื้อนอนุภาคขนาดนาโน ฯลฯ
2. การกระตุ้น: การปรับเปลี่ยนคุณสมบัติชอบน้ำ/ไม่ชอบน้ำ การปรับปรุงพลังงานพื้นผิว การเชื่อมต่อหมู่ฟังก์ชัน การเพิ่มประสิทธิภาพความเข้ากันได้ทางชีวภาพ เป็นต้น
3. การกัดผิว: การสร้างลวดลายบนพื้นผิว การกัดผิวขนาดเล็ก การปรับรูปทรงและระดับความหยาบของพื้นผิว เป็นต้น
4. การยึดติด: การยึดติดอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก เช่น ชิป PDMS
5. การลอกโฟโตเรซิสต์: การเผาโฟโตเรซิสต์ การกำจัดสารเคลือบป้องกันแสงสะท้อนด้านล่าง (BARC) เป็นต้น
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
1. ห้องสุญญากาศทำจากสแตนเลสโดยใช้กระบวนการเชื่อมระดับเดียวกับที่ใช้ในกองทัพ มีความแน่นหนาดีเยี่ยมและทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นอย่างมาก
2. มาพร้อมกับอิเล็กโทรดในตัว 2 ตัว และถาดประมวลผลแบบหลายชั้น เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พื้นที่ให้สูงสุด
3. หน้าจอสัมผัส HMI ที่ใช้งานง่าย แสดงพารามิเตอร์กระบวนการแบบเรียลไทม์
4. รองรับการจัดเก็บสูตรการผลิตหลายรายการเพื่อเรียกใช้งานได้ด้วยการคลิกเพียงครั้งเดียว ทำให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับข้อมูลได้อย่างครบถ้วน
5. มีการจัดวางช่องจ่ายก๊าซอิสระสองช่องเพื่ออำนวยความสะดวกในการวิจัยว่าอัตราส่วนของก๊าซที่แตกต่างกันส่งผลต่อผลลัพธ์การทำความสะอาดอย่างไร
6. ระบบกระจายก๊าซแบบพาความร้อนสร้างการหมุนเวียนของก๊าซแบบไดนามิกในระหว่างการทำงาน พร้อมกับการดูดอากาศที่สม่ำเสมอ เพื่อให้ได้ประสิทธิภาพการทำความสะอาดที่เหนือกว่า
ภาพร่างโครงร่างเครื่องจักรและแผนภาพห้องสุญญากาศ
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| เลขที่ | หมวดหมู่ | ชื่อรายการ | พารามิเตอร์ |
| 1 | เครื่องกำเนิดพลาสมา | พลัง | 0–300 วัตต์ ปรับได้ต่อเนื่อง |
| ความถี่ | 40 กิโลเฮิร์ตซ์ | ||
| 2 | ห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ | วัสดุห้อง | ผลิตจากสแตนเลส 316 นำเข้า พร้อมระบบซีลระดับมาตรฐานทางการทหาร |
| ปริมาตรห้อง | 10.8 ลิตร | ||
| ขนาดห้อง | 200(กว้าง) × 270(ลึก) × 200(สูง) มม. | ||
| พื้นที่ประมวลผลที่มีประสิทธิภาพแบบชั้นเดียว | 176(กว้าง) × 210(ลึก) มม. | ||
| ปริมาณอิเล็กโทรด | ขั้วไฟฟ้าเฉพาะที่ทำจากโลหะผสมอะลูมิเนียมชุบทอง 2 ชิ้น | ||
| ชั้นการประมวลผล | 3 ชั้น | ||
| ระยะห่างความสูงชั้นเดียว | ความสูง: 35 มม. | ||
| 3 | ระบบควบคุมก๊าซ | ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ | 500 SCCM |
| ปริมาณช่องทางก๊าซ | 2 ช่องสัญญาณอิสระ ใช้งานร่วมกับ O ได้₂อาร์, เอ็น₂, ชม₂เป็นต้น | ||
| (โปรดแจ้งล่วงหน้าหากต้องการใช้ก๊าซกัดกร่อน) | |||
| 4 | การวัดสุญญากาศ | ระบบวัดสุญญากาศ | ช่วงการวัด: 5×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa |
| ความแม่นยำในการวัด: 0.1 Pa | |||
| 5 | ระบบสูบน้ำ | ปั๊มสุญญากาศ | อัตราการสูบน้ำ: 16 ลูกบาศก์เมตร/ชั่วโมง |
| ท่อสุญญากาศ | ท่อสแตนเลส + วาล์วลม | ||
| 6 | ระบบควบคุม | หน้าจอสัมผัส | 7 นิ้ว |
| โหมดควบคุม | พีแอลซี | ||
| การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ | กำลังไฟ, ระยะเวลาการทำงาน | ||
| โปรแกรมซอฟต์แวร์ | ระบบควบคุมพลาสมาที่พัฒนาขึ้นเองและจดสิทธิบัตรแล้ว โหมดอัตโนมัติ/แบบแมนนวล การตรวจสอบอินพุต/เอาต์พุต | ||
| ฟังก์ชันการแจ้งเตือน | ระบบป้องกันการทำงานผิดพลาดของเครื่องดูดฝุ่น | ||
| ฟังก์ชันปรับสมดุลแรงดัน | รองรับการป้อนก๊าซในกระบวนการผลิตพร้อมเวลาปรับสมดุลล่วงหน้าได้ | ||
| 7 | ความต้องการด้านสาธารณูปโภค | แหล่งจ่ายไฟ | 220V 50/60Hz 9A |
| ส่วนต่อประสานท่อก๊าซ | เส้นผ่านศูนย์กลาง: 6 มม. | ||
| ความบริสุทธิ์ของก๊าซ | 99.99% | ||
| ความดันก๊าซ | 0.4–0.6 MPa | ||
| ช่องระบายไอเสีย | เคเอฟ25 |
สภาพแวดล้อมการทำงาน (สิ่งของที่ลูกค้าต้องเตรียม)
| เลขที่ | หมวดหมู่ | ความต้องการ |
| 1 | แหล่งจ่ายไฟ | แรงดันไฟฟ้าขาเข้า: 220V, 50/60Hz, ความผันผวนของแรงดันไฟฟ้า ±10%; สายดินต้องเป็นไปตามมาตรฐานสากล; บริเวณติดตั้งต้องไม่มีการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าอย่างรุนแรง |
| 2 | เงื่อนไขการติดตั้ง | อุณหภูมิแวดล้อม: 0–40°C; ความชื้นสัมพัทธ์แวดล้อม: 15%–60% |
| 3 | การจ่ายก๊าซ | ถังแก๊สสำหรับ O₂อาร์, เอ็น₂, ชม₂ ฯลฯ (ต้องติดตั้งตัวควบคุมแรงดัน); แรงดันขาเข้า ＞0.3 MPa; ขนาดข้อต่อท่อก๊าซ: Φ6 มม. |
| 4 | ท่อไอเสีย | เชื่อมต่อเข้ากับช่องระบายอากาศของปั๊มสุญญากาศ (จำเป็นต้องทำหากติดตั้งในห้องที่สะอาด/ปราศจากฝุ่น) |
รายละเอียดสินค้า
HY-AD03 เป็นบรรยากาศโดยตรง เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมา ออกแบบมาเพื่อทำความสะอาด กระตุ้น และปรับเปลี่ยนพื้นผิวภายใต้สภาวะอากาศปกติ มีคุณสมบัติเด่นคือ พลังงานเข้มข้นในพื้นที่การทำงานขนาดเล็ก ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะ ความชอบน้ำ และความสามารถในการพิมพ์ของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อน เช่น คราบอินทรีย์ คราบน้ำมัน และชั้นออกไซด์ออกจากพื้นผิววัสดุได้อีกด้วย
HY-TM500 ทำงานภายใต้ความดันบรรยากาศโดยไม่ต้องใช้ห้องสุญญากาศ ราง 3 แกนแบบกำหนดเองให้การบำบัดที่แม่นยำและครอบคลุมทั่วถึง สร้างขึ้นด้วยฮาร์ดแวร์ระดับทางการทหารและการควบคุมแบบดิจิทัล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้ 0–800 วัตต์ พลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้าช่วยปกป้อง PCB, FPC และชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ พร้อมทั้งทำความสะอาดพื้นผิว กระตุ้น และปรับเปลี่ยนเพื่อเพิ่มการยึดเกาะสำหรับการเชื่อมต่อ การพิมพ์ และการเคลือบ พร้อมสำหรับการใช้งานอัตโนมัติแบบอินไลน์ในอุตสาหกรรม 3C, จอแสดงผล, เซมิคอนดักเตอร์, ยานยนต์ และพลังงานใหม่
HY-DC1000 มาพร้อมกับปืนหมุนพ่นพลาสมาที่มีพื้นที่การพ่นกว้างและหัวฉีดแบบถอดเปลี่ยนได้ตั้งแต่ 20 ถึง 80 มม. ออกแบบมาสำหรับชิ้นงานแบนขนาดใหญ่ เช่น แผงวงจรพิมพ์ขนาดเต็ม ขั้วไฟฟ้าแบตเตอรี่พลังงานใหม่ ชิ้นส่วนพลาสติกสำหรับยานยนต์ และแผงกระจกจอแสดงผล รองรับกำลังไฟที่ปรับได้กว้าง 0–1000 วัตต์ เพื่อสร้างการพ่นพลาสมาที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวขนาดใหญ่ ช่วยกำจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และขจัดปัญหาช่องว่างในการพิมพ์และการหลุดลอกของสารเคลือบสำหรับสายการผลิตแบบอินไลน์ในการผลิตจำนวนมาก
HY-DD600 ใช้การออกแบบหัวฉีดขนาดเล็กและแคบ (ความกว้างใช้งาน 2–6 มม.) เหมาะสำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็กที่มีความแม่นยำสูง เช่น ชิป วงจรพิมพ์แบบยืดหยุ่น (FPC) และแผ่นรองพื้น BGA ขนาดเล็ก เจ็ทพลาสมาอุณหภูมิต่ำที่ปราศจากศักย์ไฟฟ้า ช่วยลดความเสี่ยงจากการไหม้จากความร้อนสำหรับวัสดุ PI/ITO ที่บางเป็นพิเศษ ปืนขนาดกะทัดรัดนี้เหมาะสำหรับช่องว่างแคบและโครงสร้างขนาดเล็กที่ซับซ้อน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสายการผลิตการเชื่อมและการจ่ายอัตโนมัติขนาดเล็กสำหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และการเตรียมพื้นผิวโมดูลกล้อง
HY-AC500 ใช้ปืนพ่นพลาสมาแบบหมุนและโหมดควบคุมแบบแมนนวลและ I/O คู่ ทำให้สามารถทำความสะอาด กระตุ้น และกัดเซาะขนาดเล็กได้อย่างสม่ำเสมอสำหรับ PCB, FPC, BGA และชิปเซมิคอนดักเตอร์ มีฮาร์ดแวร์ระดับเดียวกับที่ใช้ในกองทัพ การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ดิจิทัล และการป้องกันความปลอดภัยหลายชั้น เครื่องพลาสมาแบบตั้งโต๊ะขนาด 1000 วัตต์นี้ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเตรียมพื้นผิวในอุตสาหกรรมบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C จอแสดงผล อิเล็กทรอนิกส์ยานยนต์ และอุตสาหกรรมพลังงานใหม่
HY-AC1000H ใช้พลาสมาแบบเป็นกลางอุณหภูมิต่ำโดยไม่ต้องใช้สุญญากาศ มาพร้อมรางที่ปรับแต่งได้และปืนหมุนคู่ มีกำลังไฟปรับได้ 0–1000 วัตต์ และความกว้างในการรักษา 20–80 มม. จึงสามารถทำความสะอาดชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหายจากความร้อนการทำความสะอาดแบบแห้งทั้งทางกายภาพและทางเคมีช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการยึดติดสำหรับการติดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป เพื่อลดการแยกชั้นและการเกิดช่องว่าง รองรับการควบคุมด้วยตนเองและผ่านอินพุต/เอาต์พุต พร้อมระบบตรวจสอบความปลอดภัยอย่างเต็มรูปแบบ สามารถเชื่อมต่อกับสายการผลิตอัตโนมัติเพื่อการประมวลผลอย่างต่อเนื่องของวัสดุตั้งต้น เฟรมตะกั่ว และแผง FPC ขนาดใหญ่ ให้การผลิตที่เสถียรต่อเนื่องเป็นเวลานานภายใต้ภาระงานเต็มที่ ด้วยเวลาตอบสนองต่ำกว่า 0.1 วินาที
HY-AS1200 ติดตั้งหัวฉีดหมุนที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์เพื่อสร้างพื้นผิวพลาสมาที่สม่ำเสมอ ด้วยความกว้างในการรักษา 20–80 มม. และกำลังไฟที่ปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 1200 วัตต์ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเตรียมพื้นผิวชิ้นงานขนาดใหญ่ เช่น เฟรมตะกั่วและพื้นผิวต่างๆ พลาสมาที่เป็นกลางที่อุณหภูมิห้องจะไม่ทำลายชิป ช่วยขจัดคราบอินทรีย์และออกไซด์บนพื้นผิวภายใต้ความดันบรรยากาศ เพื่อเสริมความแข็งแรงในการยึดเกาะสำหรับการติดชิ้นส่วน การเชื่อมต่อสายไฟ และการขึ้นรูป ในขณะเดียวกันก็ลดปัญหาการหลุดลอกและการเกิดช่องว่างอุปกรณ์นี้มาพร้อมระบบป้องกันความปลอดภัยหลายชั้นและสามารถทำงานร่วมกับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างสมบูรณ์ จึงถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการบรรจุภัณฑ์และการทดสอบสำหรับ IC, FPC และชิปสำหรับยานยนต์
HY-AD800 สามารถประมวลผลชิป แผงวงจรพิมพ์ (PCB) และชิ้นส่วนพลาสติกที่บอบบางได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำให้เกิดการเสียรูปจากความร้อน มาพร้อมกำลังไฟปรับได้ 0–800 วัตต์ การทำงานแบบคู่ทั้งผ่านอินพุต/เอาต์พุต และระบบป้องกันความปลอดภัยที่ครบครัน สามารถบูรณาการเข้ากับสายการผลิตอัตโนมัติได้อย่างง่ายดาย เพื่อการทำความสะอาดพื้นผิว การกระตุ้น และการยึดติดที่ดีขึ้น ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ 3C ยานยนต์ พลังงานใหม่ และการผลิต LED
ฝากข้อความไว้
สแกนเพื่อแชร์ไปยัง WeChat :
สแกนเพื่อส่งไปยัง WhatsApp :
