เครื่องเชื่อมไดความเร็วสูงและความแม่นยำสูงสำหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

เครื่องเชื่อมชิ้นส่วน HY-DP200 ระบบนี้ให้ผลผลิต 6,000 ชิ้นต่อชั่วโมงสำหรับการเชื่อมด้วยอีพ็อกซี่ และ 3,500 ชิ้นต่อชั่วโมงสำหรับการเชื่อมด้วย DAF โดยมีความแม่นยำในการเชื่อม ±10 µm (X/Y) และ ±0.1° (θ) และความแม่นยำในการเชื่อมด้วยอีพ็อกซี่ ±20 µm (X/Y) และ ±1.0° (θ) ระบบรองรับขนาดไดตั้งแต่ 0.5 มม. ถึง 20 มม. จัดการกับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วและ 12 นิ้วด้วยฟังก์ชันการจัดตำแหน่งมุมอัตโนมัติและการขยายอัตโนมัติ และรองรับวัสดุรองรับที่มีความยาวสูงสุด 300 มม. มาพร้อมกับกล้องวิชั่น 5 ล้านพิกเซล (2048 × 2048 พิกเซล) และการจดจำรูปแบบระดับสีเทา 256 ระดับ ทำให้ได้ความแม่นยำในการระบุตำแหน่ง ±4 พิกเซล และความแม่นยำเชิงมุม ±0.01° ในพื้นที่การมองเห็น 20 × 20 มม. หัวเชื่อมให้แรงยึดติดตั้งแต่ 0.5N ถึง 30N (เลือกได้) พร้อมระบบปรับเทียบโหลดเซลล์อัตโนมัติ การตรวจสอบด้วยภาพก่อน/หลัง และการปรับเทียบระดับ Z อัตโนมัติ ทำงานด้วยไฟ AC 200–240V ±10% เฟสเดียว 50/60Hz ใช้พลังงานประมาณ 2.2 kW ต้องการอากาศอัดมากกว่า 5 kgf/cm² และสุญญากาศต่ำกว่า -750 mmHg ด้วยขนาด 2200 มม. × 1460 มม. × 1800 มม. (รวม FFU) และน้ำหนักประมาณ 2300 กก. HY-DP200 มีความน่าเชื่อถือสูงด้วย MTBA 120 นาที และ MTBF 168 ชั่วโมง ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดระดับ Class 1000 ทำให้เป็นโซลูชันที่เหมาะสมสำหรับการยึดติดแม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำสูงในการผลิตปริมาณมาก

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคที่สำคัญ

ข้อมูลจำเพาะของซีรีส์ HY-DP200
ประสิทธิภาพของระบบ	อุฟ
	DAF: 3.5K UPH, อีพ็อกซี่: 6K UPH
ชุดเอกสารประกอบการสมัคร		ไอซี, แอลเอสไอ, บีจีเอ, ซีเอสพี, คิวเอฟเอ็น, เอ็นแอนด์แฟลช, โมบายล์ดีแรม, อีเอ็มซี, ซีพี, สมอลล์ได
ความสามารถของระบบ	ความแม่นยำของการยึดติดด้วยอีพ็อกซี่	X/Y: ±20 ไมโครเมตร θ: ±1.0°
	ความแม่นยำของพันธบัตร	X/Y: ±10 ไมโครเมตร θ: ±0.1°
	เอ็มบีเอ	120 นาที
	MTBF	168 ชั่วโมง
	คลีนคลาส	คลาส 1000
	ควบคุม	พีซี
	วิธีการบอนด์	กาวอีพ็อกซี่และ DAF
ความสามารถในการขนถ่ายวัสดุ	ขนาดแม่พิมพ์	0.5 - 20 มม.
	สารตั้งต้น	ความยาว: 100 - 300 มม.; ความกว้าง: 50 - 100 มม.
	นิตยสาร	ความยาว: 110 - 320 มม.; ความกว้าง: 40 - 110 มม.; ความสูง: 100 - 190 มม.
ระบบเวเฟอร์	การจัดการเวเฟอร์	8 นิ้ว, 12 นิ้ว
	การจัดตำแหน่งอัตโนมัติของธีตา	360° การหมุน
	ขยายอัตโนมัติ	10 มม.
บอนด์เฮด	กองกำลังบอนด์	0.5 - 5N ±15%, 5 - 30N ±5% (สูงสุด 30N: เลือกได้)
	แกนหัวยึด	แกน XYZ-Theta (เดี่ยว)
ระบบการวัดและการตรวจสอบ	คุณสมบัติ	บังคับการปรับเทียบอัตโนมัติของรีแบ็กโหลดเซลล์ การปรับเทียบระดับ Z อัตโนมัติก่อน/หลังการตรวจสอบด้วยภาพ
ระบบการจดจำรูปแบบ	ระบบ PR	ระดับสีเทา 256 ระดับ
	กล้อง	กล้อง 5 ล้านพิกเซล (2048 × 2048)
	FOV	20 × 20 มม.
	ความแม่นยำของตำแหน่ง	±4 พิกเซล
	ความแม่นยำเชิงมุม	±0.01°
พารามิเตอร์ทางไฟฟ้า	แรงดันไฟฟ้า	แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับ 200~240 โวลต์ ±10%
	ความถี่	เฟสเดียว 50/60 เฮิรตซ์
	อากาศอัด	มากกว่า 5 กก./ซม.²
	เครื่องดูดฝุ่น	-750 มิลลิเมตรปรอท ต่ำกว่า
	การใช้พลังงาน	ประมาณ 2.2 กิโลวัตต์
ขนาด/น้ำหนัก (โดยประมาณ)	ขนาด (กว้าง) × D × H)	2200 × 1460 × 1800 มม. (พร้อม FFU 115H)
	น้ำหนักสุทธิ	ประมาณ 2300 กิโลกรัม

รายละเอียดสินค้า