อุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์

HY-WD1202 ใช้แกนหมุน RPS นำเข้า ชิ้นส่วนส่งกำลังความแม่นยำสูง NSK และตัวเข้ารหัส Renishaw สำหรับการควบคุมแบบวงปิดแกน Y ด้วยความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งสูง รองรับการวัดความสูง NCS การตรวจจับใบมีด BBD การจดจำภาพอัตโนมัติ และการปรับแต่งล้อ เหมาะสำหรับซิลิคอน เวเฟอร์ SiC/GaN เซรามิก PCB และกระจกออปติคอลเครื่องจักรแบบหน้าจอสัมผัสนี้เหมาะสำหรับการตัดชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูงในอุตสาหกรรม IC, อุปกรณ์ไฟฟ้า และ LED โดยมีระบบป้องกันการแจ้งเตือนแรงดันและอุณหภูมิอย่างครบถ้วน มีโหมดการตัดหลายแบบสำหรับชิ้นงานทั่วไปและชิ้นงานที่ซับซ้อน เหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมากในห้องปลอดเชื้อที่มีอุณหภูมิคงที่

HY-WD802 มาพร้อมกับแกนหมุนความเร็วสูงนำเข้าคู่ ระบบวิชั่นคู่แบบโคแอกเซียลและแบบวงแหวน ระบบวัดความสูง NCS ในตัว ระบบตรวจจับ BBD และระบบปรับแต่งชิ้นงานบนล้อ ติดตั้งระบบส่งกำลัง NSK และมาตรวัดเชิงเส้นแบบวงปิดของ Renishaw เพื่อความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งที่ยอดเยี่ยม สามารถตัดชิ้นงานบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน SiC GaN และแผ่นเวเฟอร์ผสมได้อย่างแม่นยำ สำหรับการผลิตอุปกรณ์ไฟฟ้า IC และเซรามิกออปโตอิเล็กทรอนิกส์จำนวนมาก

HY-WD681 ให้การตัดที่แม่นยำระดับไมครอนสำหรับเวเฟอร์ขนาด 6/8 นิ้ว วัสดุเซรามิกและแก้ว ด้วยระบบจัดตำแหน่งภาพอัตโนมัติด้วย CCD และแกนหมุนปรับความเร็วสูง ช่วยประหยัดพื้นที่ในห้องปลอดเชื้อ พร้อมเพิ่มเสถียรภาพและความสามารถในการผลิต เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการแยกชิ้นส่วนระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการผลิต Mini LED

HY-WD1201 รองรับชิ้นงานขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 300 มม. ด้วยระยะการเคลื่อนที่ X/Y 310 มม. สำหรับเฟรมขนาด 8–12 นิ้ว มาพร้อมโครงสร้างป้องกันการสั่นสะเทือนที่แข็งแรง ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งแกน Y 0.003 มม. และการหมุนแกน θ 380° มีแกนหมุนความเร็ว 10000–60000 รอบต่อนาที ใช้งานร่วมกับใบเลื่อยขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 58 มม. มาพร้อมระบบตรวจสอบใบเลื่อย การลับคมอัตโนมัติ ระบบควบคุมแบบสัมผัสขนาด 15 นิ้ว และการสื่อสาร GEM เครื่องจักรขนาด 1150 x 1020 x 1750 มม. / น้ำหนัก 1000 กก. นี้จึงสามารถตัดชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน SiC เซรามิก กระจกออปติคอล และวัสดุแม่เหล็ก

HY-WD801 รองรับชิ้นงานขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 210 มม. ด้วยระยะการเคลื่อนที่ X/Y 220 มม. สำหรับเวเฟอร์ขนาด 6–8 นิ้ว มีความแม่นยำในการเคลื่อนที่ ประสิทธิภาพแกนหมุน การป้องกันใบมีด และระบบควบคุมเหมือนกับ HY-WD1201 ทุกประการ รองรับการป้อนชิ้นงาน 0.1–1000 มม./วินาที ความเร็วแกนหมุน 10000–60000 รอบต่อนาที และใบมีดขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 58 มม. ขนาดกะทัดรัด (10208901750 มม., 800 กก.) ออกแบบมาเพื่อการตัดเวเฟอร์ ชิ้นส่วนออปติคอล และวัสดุเซรามิกอย่างแม่นยำในปริมาณน้อยและปานกลาง

HY-PD1202 เหมาะสำหรับเฟรมขนาดใหญ่ 300×300 มม. ระบบควบคุมแกน Y แบบวงปิดเต็มรูปแบบรักษาความแม่นยำ 0.005 มม. ตลอดระยะการเคลื่อนที่ 310 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำแกน Z คงอยู่ที่ 0.003 มม. มาพร้อมกับระบบตรวจจับความสูงแบบไม่สัมผัส ระบบวิชั่นแบบสองแสง การตรวจสอบใบมีด และแกนหมุนสำหรับงานหนัก การจัดวางแกนหมุนที่เหมาะสมและถาดสี่เหลี่ยมขนาดใหญ่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้ 5% ระบบหล่อลื่นแบบรวมศูนย์ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำในระยะยาว เข้ากันได้กับ GEM อย่างสมบูรณ์สำหรับสายการผลิตอัตโนมัติในปริมาณมาก

HY-PD802 รองรับเฟรมขนาดสูงสุด 210×210 มม. ระบบวัดระยะแกน Y แบบวงปิดเต็มรูปแบบให้ความแม่นยำ 0.005 มม. ภายในระยะการเคลื่อนที่ 220 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำแกน Z อยู่ที่ 0.003 มม. ติดตั้งเซ็นเซอร์วัดความสูงใบมีดแบบไม่สัมผัส ระบบตรวจจับแสงคู่ การตรวจจับการหักของใบมีด และแกนหมุนคู่ที่นำเข้า ตัวเครื่องขนาดกะทัดรัด เสียงรบกวนต่ำ พร้อมหน้าจอสัมผัสขนาด 15 นิ้ว รองรับการตัดแบบเป็นชุด การจัดตำแหน่งอัตโนมัติ และการกลับมาทำงานต่อจากจุดหยุด ใช้งานร่วมกับโปรโตคอล GEM สำหรับสายการผลิตแบบกึ่งอัตโนมัติได้

HY-PD801เป็นเครื่องเลื่อยตัดเทปแบบแกนเดี่ยว กึ่งอัตโนมัติ ขนาด 8 นิ้ว รองรับชิ้นงานขนาดสูงสุด 210×210 มม. โครงสร้างแข็งแรงและแกน X ที่ได้รับการปรับปรุงช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้ถึง 5% มาพร้อมกับเฟรมสี่เหลี่ยม หน้าจอสัมผัส อัลกอริทึมการตัดที่เป็นกรรมสิทธิ์ การตั้งค่าใบมีดอัตโนมัติ และการตรวจจับการหักของใบมีด ทำให้ได้ความแม่นยำที่เสถียรและบำรุงรักษาง่าย และรองรับโปรโตคอล GEM สำหรับการรวมระบบอัตโนมัติในโรงงาน

HY-PD1201 เป็นเลื่อยตัดเทปอเนกประสงค์ที่รองรับชิ้นงานขนาดสูงสุด 12 นิ้ว แกน Y มีระบบควบคุมมาตราส่วนแบบวงปิดเต็มรูปแบบเพื่อความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งที่เหนือกว่า มาพร้อมกับระบบวัดความสูงแบบไม่สัมผัส NCS ระบบภาพแบบคู่แกนและวงแหวน และแกนหมุนความเร็วสูงนำเข้า ขนาดกะทัดรัด เสียงรบกวนต่ำ และใช้งานง่าย ให้การตัดที่แม่นยำสำหรับวัสดุแข็งและเปราะทุกชนิด พร้อมฟังก์ชันครบครัน รวมถึงการตัดหลายแผ่น การจดจำภาพอัตโนมัติ และการตัดต่อจากจุดหยุด

HY-WD601 ออกแบบมาสำหรับชิ้นงานเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 6 นิ้ว และชิ้นงานแข็งเปราะ มาพร้อมกับแกนหมุนความเร็วสูงนำเข้าและระบบควบคุมแบบวงปิดแกน Y ทำให้ได้ประสิทธิภาพการตัดที่แม่นยำเป็นพิเศษ มาพร้อมระบบตรวจจับภาพด้วยแสงโคแอกเซียลและแสงวงแหวน ระบบวัดความสูง NCS และระบบตรวจจับใบมีด BBD ตอบสนองความต้องการการตัดที่แม่นยำสำหรับวัสดุหลากหลายชนิดในอุตสาหกรรมบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และพลังงานใหม่ มีคุณสมบัติการใช้งานด้วยหน้าจอสัมผัส การป้องกันความปลอดภัยอย่างเต็มรูปแบบ และโหมดการตัดอัจฉริยะหลายโหมด

เครื่องเจียร HY-WT9330 มาพร้อมกับแกนเจียรแบบใช้ลม 1 แกน และแกนจับชิ้นงานแบบใช้ลม 2 แกน สามารถประมวลผลวัสดุที่แข็งมาก เปราะ และเจียรยากได้หลากหลายชนิด ขนาดสูงสุด 12 นิ้ว ทำให้ได้การเจียรผิวเรียบแบบกระจกที่มีประสิทธิภาพสูง ปราศจากความเสียหาย และแม่นยำเป็นพิเศษ ด้วยความแม่นยำของความหนาที่ยอดเยี่ยม เหมาะสำหรับกระบวนการเจียรด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ชิปทุกประเภท

เครื่อง HY-WT9530 ติดตั้งแกนหมุนแบบใช้ลม 2 แกน และโต๊ะจับยึดแบบสุญญากาศ 3 โต๊ะ สำหรับวัสดุแข็งเปราะขนาดสูงสุด 8 นิ้ว ผู้ใช้งานเพียงแค่ใส่ตลับชิ้นงานด้วยตนเอง ในขณะที่เครื่องจะดำเนินการตามรอบการทำงานอัตโนมัติทั้งหมด รวมถึงการเจียรหยาบ/ละเอียด การทำความสะอาด และการกู้คืนชิ้นงาน ค่า TTV หลังการเจียร ≤ 1.5 μm พร้อมความเรียบและความหยาบผิวที่ยอดเยี่ยม เหมาะสำหรับการเจียรด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ