เครื่องเลื่อยตัดแผ่นเวเฟอร์แบบกึ่งอัตโนมัติแกนเดี่ยวขนาด 8 นิ้ว ขนาดกะทัดรัด

แนะนำผลิตภัณฑ์

HY-WD801 เลื่อยตัดแผ่นเวเฟอร์แบบกึ่งอัตโนมัติแกนเดี่ยวขนาด 8 นิ้ว เครื่องนี้รองรับชิ้นงานขนาดสูงสุด Φ210 มม. สำหรับชิ้นงานขนาด 6–8 นิ้ว โดยมีระยะการตัด X/Y 220 มม. มีความแม่นยำในการเคลื่อนที่ ประสิทธิภาพแกนหมุน ฟังก์ชั่นการป้องกันใบเลื่อย และระบบควบคุมเช่นเดียวกับรุ่น HY-WD1201 มีอัตราเร็วป้อน 0.1–1000 มม./วินาที ความเร็วแกนหมุน 10000–60000 รอบต่อนาที และใช้งานร่วมกับใบเลื่อยขนาดสูงสุด Φ58 มม. ได้

ด้วยโครงสร้างทางกลที่มีความแม่นยำสูงและประสิทธิภาพการตัดที่เสถียรเหมือนกันทุกประการ เครื่องจักรขนาดกะทัดรัดนี้มีขนาด 1020*890*1750 มม. และน้ำหนักประมาณ 800 กก. พร้อมพื้นที่ใช้งานที่น้อยลง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตัดแผ่นเวเฟอร์ขนาด 6-8 นิ้ว ชิ้นส่วนสื่อสารทางแสง และแผ่นเซรามิกขนาดเล็กในปริมาณปานกลางและน้อย

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์

การใช้งานผลิตภัณฑ์

อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้ในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ชิ้นส่วนบรรจุภัณฑ์พลาสติก (QFN, BGA เป็นต้น) แผงวงจรพิมพ์ (PCB) วัสดุเซรามิก (อลูมินา เซอร์โคเนีย เป็นต้น) เซรามิกออกไซด์ (เทอร์มิสเตอร์ วาริสเตอร์ โฟโตรีซิสเตอร์) แก้ว ควอตซ์ ลิเธียมไนโอเบต ลิเธียมแทนทาเลต และวัสดุแม่เหล็กได้

มีการใช้งานอย่างแพร่หลายสำหรับการตัดชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูงในอุตสาหกรรมต่างๆ รวมถึงชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ วงจรรวม (IC) LED เซลล์แสงอาทิตย์ อุปกรณ์ทางแสง ชิ้นส่วนใยแก้วนำแสง และเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์

ระบบปฏิบัติการที่เชื่อถือได้และสะดวกสบาย

1. แผงควบคุมระบบสัมผัสขนาด 15 นิ้ว แสดงข้อมูลสถานะการทำงานของเครื่องจักรอย่างครบถ้วน ทำให้การใช้งานง่ายและราบรื่นยิ่งขึ้น

2. พารามิเตอร์ของของเหลวทั้งหมดถูกควบคุมด้วยซอฟต์แวร์และจัดเก็บไว้ในกลุ่มโปรแกรม ซึ่งช่วยลดเวลาในการแก้ไขข้อผิดพลาดระหว่างการเปลี่ยนผลิตภัณฑ์

3. ซอฟต์แวร์ที่ปรับแต่งมาเป็นพิเศษสำหรับเส้นทางการตัดชิ้นงานหลายชิ้น ให้ความเร็วในการประมวลผลสูงกว่าขั้นตอนการตัดแบบดั้งเดิมถึง 10%

4. อัลกอริทึมควบคุมการเคลื่อนไหวระดับต่ำและการประมวลผลภาพที่พัฒนาขึ้นเอง ช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือและเสถียรภาพโดยรวมของระบบ

5. รองรับโปรโตคอลการสื่อสารมาตรฐานอุตสาหกรรม SEMI เพื่อการบูรณาการที่ง่ายดายกับระบบอัตโนมัติในโรงงาน

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

 

เลขที่	รายการ	พารามิเตอร์ข้อมูลจำเพาะ	หมายเหตุ
1	ขนาดการประมวลผล	เส้นผ่านศูนย์กลาง 210 มม. / เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม.	8 นิ้ว / 6 นิ้ว
2	แกนหมุนนำเข้า	ความเร็วรอบ: 10,000–60,000 รอบต่อนาที
		กำลังไฟ: 1.8 กิโลวัตต์
3	แกน X	ระยะการหั่นลูกเต๋า: สูงสุด 220 มม.
		ประเภทการขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว
		ความละเอียด: 0.001 มม.
		ความเร็วในการหั่น: 0.1–1000 มม./วินาที
4	แกน Y	ระยะการหั่นลูกเต๋า: สูงสุด 220 มม.
		ประเภทการขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว + ไม้บรรทัดตะแกรงแบบวงปิดสมบูรณ์
		ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำ: 0.002 มม. / 5 มม.
		ความละเอียด: 0.0005 มม.
		ข้อผิดพลาดสะสม: 0.005 มม. / 220 มม.
		ความเร็วในการหั่น: 0.1–300 มม./วินาที
5	แกน Z	ระยะการเคลื่อนที่ที่มีประสิทธิภาพ / ขนาดหัวจับ: สูงสุด 30 มม. / Φ58 มม.	ความลึกในการตัดสูงสุด ≤ 4 มม.
		ประเภทการขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว
		ความละเอียด: 0.001 มม.
		ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำ: 0.001 มม.
		ขนาดหัวจับ: Φ47.4 มม. ~ Φ54 มม.
		เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกของใบมีด: สูงสุด Φ58 มม.
		ความเร็วในการเคลื่อนที่สูงสุด: 90 มม./วินาที
6	แกน θ	ช่วงการหมุน: สูงสุด 380°
		ประเภทไดรฟ์: มอเตอร์ไดเร็กไดรฟ์ (DD)
		ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำ: 3 อาร์คเซคอนด์
		ความละเอียด: 0.0002°
7	ระบบการจัดแนว	ระบบไฟส่องสว่าง: สายโคแอกเซียล + ไฟวงแหวน
		กำลังขยาย: ต่ำสุด 0.75 เท่า / สูงสุด 1.5 เท่า
		ความละเอียดของภาพที่มองเห็นได้: 0.0005 มม.
8	น้ำหนักอุปกรณ์	500 กก. ±5%
9	ขนาดโดยรวม	1030 มม. × 900 มม. × 1750 มม.
10	กำลังไฟฟ้ารวมของอุปกรณ์	4 กิโลวัตต์

 

สภาพแวดล้อมการทำงาน

 

รายการ	ข้อกำหนด
อุณหภูมิแวดล้อม	ควรติดตั้งเครื่องจักรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิ 25 องศาเซลเซียส โดยควรเป็นห้องปลอดฝุ่นที่มีอุณหภูมิคงที่
แหล่งจ่ายไฟ	ไฟฟ้ากระแสสลับเฟสเดียว 220 โวลต์ 4 กิโลวัตต์
อากาศอัด	ใช้ลมอัดที่มีประสิทธิภาพการกรอง ≥99.5% สำหรับอนุภาคขนาด 0.01 ไมครอน พร้อมเครื่องอบแห้งลมแบบใช้ระบบทำความเย็นเพื่อลดความชื้น
	แรงดันอากาศ: 0.6–0.8 MPa
	ปริมาณการใช้ลมของแกนหมุน: 80 ลิตร/นาที
	ปริมาณการใช้ลมทั้งหมดของเครื่อง: 190 ลิตร/นาที
น้ำหั่นเต๋า	อุณหภูมิของน้ำที่ใช้ในการหั่นลูกเต๋าจะต้องควบคุมที่อุณหภูมิห้อง ±2°C และความดัน 0.2–0.4 MPa สามารถใช้น้ำประปาได้ และสามารถปล่อยน้ำเสียที่ผ่านการบำบัดแล้วลงสู่แหล่งน้ำได้โดยตรง
	ปริมาณการใช้น้ำ: 2 ลิตร/นาที
น้ำหล่อเย็น (การระบายความร้อนแกนหมุน)	น้ำบริสุทธิ์หมุนเวียนจากเครื่องกรองน้ำ อุณหภูมิน้ำถูกควบคุมที่อุณหภูมิห้อง ±2°C ความดัน 0.2–0.4 MPa
สภาพแวดล้อม	ห้ามติดตั้งอุปกรณ์ไว้ใกล้กับพัดลม ช่องระบายอากาศ หรืออุปกรณ์ที่ก่อให้เกิดอุณหภูมิสูงและละอองน้ำมัน