เครื่องคัดแยกเวเฟอร์ระดับความแม่นยำสูง

HY-WS600เครื่องคัดแยกแบบอนุกรมช่วยให้ "การคัดแยกที่แม่นยำ การผลิตจำนวนมากที่มีประสิทธิภาพสูง และการควบคุมต้นทุน" ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ทำให้เป็นหนึ่งในทางเลือกหลักภายในประเทศสำหรับอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ขั้นหลังของเซมิคอนดักเตอร์ โดยเติมเต็มส่วนการประมวลผลระดับเวเฟอร์ที่สำคัญในสายผลิตภัณฑ์การทดสอบและการคัดแยก ทำให้โซลูชันห่วงโซ่อุตสาหกรรมแบบครบวงจรสำหรับกระบวนการขั้นหลังของเซมิคอนดักเตอร์สมบูรณ์ยิ่งขึ้นเครื่องนี้รองรับเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว 8 นิ้ว และ 12 นิ้ว รวมถึงชิปขนาดเต็มตั้งแต่ 0.5×0.5 มม. ถึง 15×15 มม. ครอบคลุมอุปกรณ์หลากหลายประเภท ได้แก่ SiC, IGBT, CIS และ MEMS

ความสามารถหลักและประโยชน์

กลุ่มผลิตภัณฑ์ทดสอบและคัดแยกครอบคลุมสถานการณ์การทดสอบและคัดแยกชิปมากกว่า 95% ตรงตามข้อกำหนดสำหรับชิประดับผู้บริโภค ระดับอุตสาหกรรม และระดับยานยนต์ ด้วยกระบวนการแบบวงปิดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการตรวจสอบได้ 60% และควบคุมผลผลิตได้ 99.9% ช่วยให้องค์กรลดต้นทุนและเพิ่มประสิทธิภาพ ให้การคัดแยกและจำแนกที่แม่นยำด้วยความแม่นยำ ±25 μm มีความยืดหยุ่นสูง และความสามารถในการตรวจจับข้อบกพร่องขั้นต่ำ 10 μm ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์

สถานการณ์การใช้งาน

การทดสอบประสิทธิภาพทางโฟโตอิเล็กทริกของชิปตรวจจับแสง ชิป TOF และอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องอื่นๆ รวมถึงการทดสอบความทนทาน/การใช้งานต่อเนื่องเป็นเวลานานของชิป

ข้อกำหนดทางเทคนิค

รายการ	ข้อกำหนด
แบบอย่าง	HY-WS600A	HY-WS601A
แบบฟอร์มขาเข้า	เวเฟอร์ขนาด 6/8/12 นิ้ว, ถาด, เทป และม้วน
ขนาดแม่พิมพ์	0.5×0.5 มม. ~ 15×15 มม.
ความหนาของแม่พิมพ์	≥ 80 ไมโครเมตร
อุฟ	≥ 20K	≥ 5K
จำนวนถังเอาต์พุต	ถังเดี่ยว	ช่องเก็บของหลายช่อง (สูงสุด 6 ช่อง)
รูปแบบเอาต์พุต	เวเฟอร์/ถาด/เทปและม้วน ขนาด 6/8/12 นิ้ว	ถาด / เทปและม้วน
ช่วงควบคุมแรง	50 กรัม (0.5 นิวตัน) ~ 1000 กรัม (10 นิวตัน)
ความแม่นยำในการควบคุมแรง	≤ ±10%
ความแม่นยำของตำแหน่งการจัดวาง	±25 μm @ 3σ
ความแม่นยำเชิงมุมในการจัดวาง	±0.5° ที่ 3σ
การตรวจสอบด้านหน้าและด้านหลัง	ความแม่นยำในการตรวจจับ: >10 μm ตรวจจับได้ด้วยความคมชัด ≥30;
	ประเภทของตำหนิ: รอยขีดข่วน คราบสกปรก สิ่งแปลกปลอม รอยแตก รอยบิ่นเล็กๆ ขอบบิ่น เป็นต้น
ขนาดของอุปกรณ์	1500 มม. (ยาว) × 1500 มม. (กว้าง) × 1900 มม. (สูง)	2400 มม. (ยาว) × 2300 มม. (กว้าง) × 1900 มม. (สูง)

รายละเอียดสินค้า