เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์แว็กซ์

HY-SW360 ใช้สำหรับติดตั้งแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำแบบผสมบนแผ่นเซรามิกก่อนการทำให้บางลง เครื่องนี้โดดเด่นด้วยระบบจ่ายแว็กซ์แข็งเชิงปริมาณที่แม่นยำ การกดด้วยกระบอกสูบอากาศอิสระ และการควบคุมอุณหภูมิที่เที่ยงตรง ทำให้ได้ค่า TTV ≤0.005 มม. หลังการติดตั้ง ประกอบด้วยระบบควบคุมเชิงกล ระบบลม-น้ำ และระบบควบคุมไฟฟ้า จึงให้การติดตั้งแว็กซ์ที่มีความแม่นยำสูงและเสถียรสำหรับกระบวนการลดความหนาของเวเฟอร์