เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและสารกึ่งตัวนำแบบกึ่งอัตโนมัติด้วยแว็กซ์

HY-SW360 ใช้สำหรับติดตั้งแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำแบบผสมบนแผ่นเซรามิกก่อนการทำให้บางลง เครื่องนี้โดดเด่นด้วยระบบจ่ายแว็กซ์แข็งเชิงปริมาณที่แม่นยำ การกดด้วยกระบอกสูบอากาศอิสระ และการควบคุมอุณหภูมิที่เที่ยงตรง ทำให้ได้ค่า TTV ≤0.005 มม. หลังการติดตั้ง ประกอบด้วยระบบควบคุมเชิงกล ระบบลม-น้ำ และระบบควบคุมไฟฟ้า จึงให้การติดตั้งแว็กซ์ที่มีความแม่นยำสูงและเสถียรสำหรับกระบวนการลดความหนาของเวเฟอร์

ยี่ห้อ :
HYRNUS
หมายเลขสินค้า :
HY-SW360
สั่งซื้อขั้นต่ำ (MOQ) :
1 Set
การรับประกัน :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenance
การชำระเงิน :
T/T
ระยะเวลานำส่ง :
7-35 Days
แหล่งที่มาของผลิตภัณฑ์ :
China

สอบถามตอนนี้

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์แว็กซ์กึ่งอัตโนมัติสำหรับงานเชื่อมต่อไอซีและแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์สารประกอบซิลิคอน

แนะนำผลิตภัณฑ์

HY-SW360 เครื่องติดแว็กซ์แบบกึ่งอัตโนมัติดำเนินการเชื่อมแผ่นเวเฟอร์เข้ากับตัวรองรับเซรามิกเป็นขั้นตอนเตรียมการก่อนการลดความหนาของแผ่นเวเฟอร์ด้านเดียว

เครื่องนี้ใช้การออกแบบการละลายแว็กซ์แบบแข็ง โดยมีการจ่ายแว็กซ์ในปริมาณคงที่แม่นยำ ±0.02 กรัม ควบคู่กับการอัดอากาศด้วยกระบอกสูบอิสระ และแท่นทำความร้อน-ทำความเย็นแบบคู่ที่มีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำแบบวงปิด ความเรียบของพื้นผิวที่ติดตั้งเสร็จแล้วอยู่ที่ TTV ≤ 5 μm เครื่องนี้ได้รับการออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว โดยใช้ระบบควบคุมแบบรวมศูนย์ PLC และประกอบด้วยระบบควบคุมย่อยแบบกลไก แบบนิวแมติก-น้ำ และแบบไฟฟ้าที่ผสานรวมกัน ซึ่งรองรับการทำงานที่เสถียรในระยะยาวและการติดตั้งแว็กซ์ที่มีความแม่นยำสูงอย่างสม่ำเสมอสำหรับการเจียรด้านหลังเวเฟอร์

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

1.ใช้กรรมวิธีหลอมขี้ผึ้งแข็งเพื่อการจ่ายขี้ผึ้งที่แม่นยำและได้ปริมาณตามต้องการ

2.หัวจับแบบทำความร้อนและทำความเย็นนี้มาพร้อมกับระบบทำความร้อนที่มีความแม่นยำสูงและระบบทำความเย็นอัตโนมัติ เพื่อควบคุมอุณหภูมิพื้นผิวของหัวจับได้อย่างแม่นยำ

3.ใช้ระบบการกดด้วยกระบอกสูบอิสระพร้อมการควบคุมแรงดันอากาศที่แม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมความหนาของชั้นแว็กซ์ได้อย่างถูกต้อง

4.ค่า TTV หลังการติดตั้ง ≤ 0.005 มม.

ขอบเขตการสมัคร

อุปกรณ์นี้ใช้สำหรับติดตั้งแผ่นเวเฟอร์ เช่น GaN, GaAs, แซฟไฟร์ และ SiC ลงบนพื้นผิวของตัวรองรับเซรามิกก่อนทำการทำให้บางลงด้านเดียวเป็นหลัก

ระบบหลักของอุปกรณ์

หมวดหมู่ระบบ	ส่วนประกอบ	ข้อมูลจำเพาะ / ยี่ห้อ
โครงสร้างเชิงกล	แผ่นโลหะ	ท่อเหล็กสี่เหลี่ยมขนาดมาตรฐานแห่งชาติ 60×60×5 มม. + โครงภายนอกพ่นสีอบเกรดอุตสาหกรรม
	ชิ้นส่วน	เหล็กกล้า 45# เคลือบผิวด้วยโครมแข็ง / เหล็กกล้าไร้สนิม 304 / AL6061 เคลือบผิวด้วยอะโนไดซ์
	กลไกการรักษาแรงดันลม	ผลิตภายในบริษัท
	กลไกขั้นตอนการให้ความร้อน	ผลิตภายในบริษัท
	กลไกการถ่ายโอน	ผลิตภายในบริษัท
	รางนำเชิงเส้น	THK / HIWIN / TBI
ระบบควบคุมไฟฟ้า	พีแอลซี	พานาโซนิค / มิตซูบิชิ / เดลต้า
	หน้าจอสัมผัส	ไวน์วิว / ไวน์เทค / แอดแวนเทค
	การป้องกันไฟฟ้า	เบรกเกอร์ป้องกันไฟรั่ว (Mingwei / Schneider)
	แหล่งจ่ายไฟ DC	แหล่งจ่ายไฟแบบสวิตชิ่ง (หมิงเหว่ย / ชไนเดอร์)
ระบบนิวแมติก	กระบอกสูบอากาศ	เอสเอ็มซี / ซีเคดี / เฟสโต
	การควบคุมแรงดัน	เอสเอ็มซี / ซีเคดี / เฟสโต
	การควบคุมแรงดัน	เอสเอ็มซี / ซีเคดี / เฟสโต
	การระบุความดัน	เอสเอ็มซี / ซีเคดี / เฟสโต
	วาล์วโซลินอยด์	เอสเอ็มซี / ซีเคดี / เฟสโต

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ชื่อพารามิเตอร์	ข้อกำหนด
แบบอย่าง	HY-SW360
ขนาดเวเฟอร์ที่ใช้ได้	4 นิ้ว / 6 นิ้ว
หุ่นยนต์ดูดสุญญากาศ	450 มม.
จำนวนแกนหุ่นยนต์ดูด	แกนเดี่ยว (สงวนสิทธิ์ในการออกแบบ 3 แกน)
ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งใหม่ของหุ่นยนต์ดูด	±0.05 มม.
ช่วงแรงดันสุญญากาศของหุ่นยนต์ดูด	-70 ~ -90 กิโลปาสคาล
ขนาดของตัวรองรับเซรามิก	Φ360 × 15 มม.
อายุการใช้งานของแว็กซ์แข็ง	แท่งแว็กซ์ 1 แท่ง มีเวเฟอร์ 350 ชิ้น
ช่วงการควบคุมอุณหภูมิของเครื่องจ่ายแว็กซ์	40℃ ~ 130℃
อุณหภูมิใช้งานของเครื่องจ่ายแว็กซ์	100℃
ความแม่นยำในการจ่ายแว็กซ์	±0.02 กรัม
ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งเครื่องจ่ายแว็กซ์ใหม่	±0.05 มม.
เวลาในการทำความร้อนแผ่นทำความร้อน	3 นาที
เวลาในการทำให้แผ่นความร้อนเย็นลง	3 นาที
ช่วงการควบคุมอุณหภูมิของแผ่นทำความร้อน	60℃ ~ 130℃
การควบคุมอุณหภูมิแผ่นทำความร้อนอย่างแม่นยำ	±0.5℃
โหลดกระบอกสูบกด	100 ~ 1000 กก. ที่ 0.6 MPa ±1% FS
ความสม่ำเสมอของชั้นแว็กซ์	TTV ≤ 5 μm
การจัดหาอากาศทั่วไป	0.4–0.7 MPa (แห้งและปราศจากน้ำมัน)
ระบบควบคุมหลัก	พีแอลซี
ปริมาณการใช้พลังงานทั้งหมด	ประมาณ 7 กิโลวัตต์
น้ำหนักเครื่องจักรโดยรวม	ประมาณ 1,000 กิโลกรัม
ขนาดโดยรวม (ยาว×กว้าง×สูง, มม.)	1550×1550×1900 (ไม่รวมความสูงของไฟแสดงสถานะสามสี)

ข้อกำหนดเกี่ยวกับสิ่งอำนวยความสะดวกในสถานที่

หมวดหมู่	รายการ	ข้อกำหนด
สิ่งอำนวยความสะดวกในสถานที่ (อุปกรณ์เสริม)	แหล่งจ่ายไฟ	แรงดันไฟฟ้าของเครื่อง: AC220V±10%, กระแสไฟฟ้า: 20A, กำลังไฟ: 1.2 KW
	ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม	อุณหภูมิในห้องปฏิบัติการ: 15-25 องศาเซลเซียส, ความชื้นสัมพัทธ์: ≤80%
	การจ่ายอากาศ	0.4~0.6 MPa, อัตราการไหล >20 ลิตร/นาที, เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ: Φ12 มม.
	ระบบจ่ายน้ำหล่อเย็น	อุณหภูมิน้ำขาเข้า: 3~22°C, อัตราการไหลของน้ำหมุนเวียน: 15~30 ลิตร/นาที, แรงดันน้ำหมุนเวียน: 0.2 MPa

รายละเอียดสินค้า

Wafer Mounting Machine

แท็กยอดนิยม :

เรื่อง : เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและสารกึ่งตัวนำแบบกึ่งอัตโนมัติด้วยแว็กซ์

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและสารกึ่งตัวนำแบบกึ่งอัตโนมัติด้วยแว็กซ์

เครื่องประกอบเวเฟอร์

เครื่องแว็กซ์เวเฟอร์

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์แว็กซ์

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบกึ่งอัตโนมัติ

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและสารกึ่งตัวนำแบบกึ่งอัตโนมัติด้วยแว็กซ์

ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง