เลื่อยตัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน

HY-WD1201 รองรับชิ้นงานขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 300 มม. ด้วยระยะการเคลื่อนที่ X/Y 310 มม. สำหรับเฟรมขนาด 8–12 นิ้ว มาพร้อมโครงสร้างป้องกันการสั่นสะเทือนที่แข็งแรง ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งแกน Y 0.003 มม. และการหมุนแกน θ 380° มีแกนหมุนความเร็ว 10000–60000 รอบต่อนาที ใช้งานร่วมกับใบเลื่อยขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 58 มม. มาพร้อมระบบตรวจสอบใบเลื่อย การลับคมอัตโนมัติ ระบบควบคุมแบบสัมผัสขนาด 15 นิ้ว และการสื่อสาร GEM เครื่องจักรขนาด 1150 x 1020 x 1750 มม. / น้ำหนัก 1000 กก. นี้จึงสามารถตัดชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน SiC เซรามิก กระจกออปติคอล และวัสดุแม่เหล็ก