อุปกรณ์หั่นเวเฟอร์

HY-PD802 รองรับเฟรมขนาดสูงสุด 210×210 มม. ระบบวัดระยะแกน Y แบบวงปิดเต็มรูปแบบให้ความแม่นยำ 0.005 มม. ภายในระยะการเคลื่อนที่ 220 มม. ความแม่นยำในการทำซ้ำแกน Z อยู่ที่ 0.003 มม. ติดตั้งเซ็นเซอร์วัดความสูงใบมีดแบบไม่สัมผัส ระบบตรวจจับแสงคู่ การตรวจจับการหักของใบมีด และแกนหมุนคู่ที่นำเข้า ตัวเครื่องขนาดกะทัดรัด เสียงรบกวนต่ำ พร้อมหน้าจอสัมผัสขนาด 15 นิ้ว รองรับการตัดแบบเป็นชุด การจัดตำแหน่งอัตโนมัติ และการกลับมาทำงานต่อจากจุดหยุด ใช้งานร่วมกับโปรโตคอล GEM สำหรับสายการผลิตแบบกึ่งอัตโนมัติได้