เครื่องเจียรและขัดเงาด้านหลังเวเฟอร์

เครื่อง HY-WT9730 รองรับแผ่นเวเฟอร์ขนาดสูงสุด 12 นิ้ว มาพร้อมกับแกนหมุนสำหรับเจียรแบบใช้ลม 3 แกน และแกนหมุนสำหรับชิ้นงานแบบใช้ลม 4 แกน จึงสามารถรวมกระบวนการเจียรหยาบ เจียรละเอียด และขัดเงาเข้าไว้ด้วยกันได้ ระบบการทำงานแบบหุ่นยนต์เต็มรูปแบบจะดำเนินการถ่ายโอน การประมวลผล การทำความสะอาด และการขนถ่ายเวเฟอร์โดยอัตโนมัติ เหลือเพียงแค่การป้อนตลับเวเฟอร์ด้วยมือเท่านั้น การป้อนตามแกน Z ที่แม่นยำเป็นพิเศษช่วยให้เวเฟอร์มีความเรียบลื่นและขัดเงาได้อย่างสมบูรณ์แบบโดยไม่เกิดความเสียหาย ในขณะที่โครงสร้างที่แข็งแรงช่วยรับประกันการผลิตจำนวนมากที่เสถียร